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光束定向和反射光产品可简化光束的反射、弯曲或转换，但通常不会改变偏振，除非是偏振分光膜。 例如，反射镜、角锥棱镜和逆向反射镜是连接到移动目标上，避免增加移动目标的重量（而不是将干涉仪安装到移动目标上）。
- 反射镜通常连接到移动目标上，以便将光束反射回干涉仪，但它们还可使光束发生任意角度的转向。
- 角锥棱镜将激光束发射或返回与入射路径平行的路径。 它们不能用于控制反射角。 反射角是固定的，因此反射光束与入射光束平行。 角锥棱镜没有任何外罩。
- 逆向反射镜与角锥棱镜一样，但是拥有外罩。
- 光束转向镜通常会使光束发生转向，例如转向 90 度。
- 操纵器（Manipulator）是一类特殊的光束转向镜。 它们可以使光束轻松发生转换或角度变化，更精确地控制光束位置。
- 分光膜可将一个激光束分成多个光束。 列出的百分比可告诉您分光后某个光束的功率占分光前主光束功率的百分比。 分光路径通常与主路径成 90 度。
- 偏振分光膜可将两个频率的激光束分别分配到参考路径和测量路径中。 光束功率在两个路径之间平均分配。
- 真空兼容是指镜片系统可以最大限度减少气体分子逸散（outgassing）并可作为真空环境使用。 真空兼容镜片系统主要用于电子束直写应用中，在该应用中，整个曝光机和定位工作台必须置于真空之中。
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Keysight 10725A 50% 分光膜适用于 9 mm 或更小直径的光束。 这个裸光学器件需要用户自备安装架座。
Keysight 10713B 1 英寸角锥棱镜（逆向反射镜）可在线性测量中作为测量反射镜使用。 这种裸镜需要用户提供安装支架。
Keysight 10704A 逆向反射镜（角锥棱镜）是用于单光束测量的测量反射镜。 它是专门针对 6 mm 或更小直径的光束而设计和安装的。
Keysight 10707A 可使 90°角的入射光束发生折射。 它是专门针对 6 mm 或更小直径的光束而设计和安装的。
Keysight 10713C 1/2 英寸角锥棱镜可在线性测量中作为测量反射镜使用。 这种裸镜需要用户提供安装支架。
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