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ビームを反射／屈折させる光学部品は、ビームの反射／屈折／並行移動を単に実行するだけで、極性ビーム・スプリッタを除いて、通常は極性が変わることはありません。ミラー、キューブ・コーナ、リフレクタを移動物体に取り付けることにより（移動物体に干渉計を取り付ける代わりに）、質量の増加を抑制できます。
- ミラーは、一般的に移動物体に取り付けられ、ビームを反射させて干渉計に戻しますが、ビームを屈折させるためにも使用できます。
- キュービック・コーナは、レーザ・ビームを反射させ、入力経路に対して平行に戻します。反射角を制御するためには使用できません。反射角は固定で、出力ビームは入力ビームと平行です。キュービック・コーナにはハウジングがありません。
- リフレクタは、キュービック・コーナと同じですがハウジングが付属します。
- ビーム・ベンダは通常、90度などの角度でビームを屈折させます。
- マニピュレータは特別なカテゴリのビーム・ベンダです。ビームを容易に平行移動したり、ビームに角度を付けたりでき、ビーム位置を高精度に制御できます。
- ビーム・スプリッタは、レーザ・ビームを複数のビームに分割します。仕様の%は、メインの経路のパワーに対する分割されたビームのパワーの%です。分割経路は通常、メインの経路に対して90度ずれます。
- 極性ビーム・スプリッタはレーザ・ビームの2つの周波数を基準経路と測定経路に分離します。この２つの経路のビーム・パワーは等しく分割されます。
- 真空対応は、ガス抜けが最小になるように設計されており、真空状態での機能を光学部品が持っていることを意味します。真空対応の光学部品は、主に照射する機器全体とポジショニング・ステージを真空状態に配置する必要のあるEビーム・ダイレクト・ライト・アプリケーションで使用されます。
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The Keysight 10725A 50% beam splitter is designed for beam diameters of 9 mm or less. This bare optic requires a user supplied mount.
The Keysight 10713B 1-inch cube corner (retroreflector) can be used as the measurement reflector for linear measurements. This bare optic requires a user supplied mount.
Keysight 10704A レトロリフレクター（立方体コーナー）は、シングルビーム測定用の測定リフレクターです。 6 mm以下のビーム径向けに設計されていて取り付けられます。
Keysight 10707Aは、入射ビームを90度の角度で屈折させます。 6 mm以下のビーム径に対応できる実装と設計が施されています。
The Keysight 10713C 1/2 inch cube corner reflector can be used as the measurement reflector for linear measurements. This bare optic requires a user supplied mount.
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