除了偏振分光鏡 (polarizing beam splitters) 外,光束直射與反射光學元件僅能反射、轉折或轉移光束,而且通常是無法修改的偏振。

例如,反射鏡 (mirror)、隅角反射鏡 (cube corner) 及後向反射鏡 (retroreflector) 都連接至會移動的物體上,這是為了保持移動中的物體重量下降 (而不是在移動的物件上安裝干涉儀)。反射鏡通常連接至移動的物體上,以將光束反射回干涉儀上,但反射鏡也可以用來任意地轉折光束。隅角反射鏡反射 (或折返) 雷射光束,使其平行於入射光路,但它們無法用來控制反射角;反射角是固定的,因此射出光束與入射光束會平行。隅角反射鏡沒有外罩。後向反射鏡同隅角反射鏡,但具有外罩。

光束轉折鏡通常會讓光束偏轉角度,例如 90 度角。操縱器是一種特殊種類的光束轉折鏡,它能輕鬆地平移光束或使光束轉向,以更精密地控制光束的位置。分光鏡能將雷射光束分成多個光束,所列的百分比說明了由主要光路分離的光束之功率百分比,而分路通常在主要光路 90 度的位置。偏振分光鏡將雷射光束中的兩個頻率光分成參考光路及量測光路。光束功率均平於兩條光路中。

真空相容表示透鏡是用來使除氣 (outgassing) 減少到最低限度,以便在真空的環境中運作。真空相容光學元件主要使用於 Ebeam 直接記錄的應用場合,即整個曝光機器及定位階段必須置於真空的地方。

如果您沒有找到您想要的資料,請使用此網頁右上角的與我們聯絡連結,以便與我們討論客製化光學元件的方法。

Find the Model that's Right for You

已擁有其中一項產品? 瀏覽技術支援網頁

Want help or have questions?