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YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。

エレクトロニクスと光学部品で構成されたレーザー干渉計／レーザー測定器超精密位置決めシステムは、寸法測定や移動制御において、非常 に精度の高い位置情報または距離情報を提供します。

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ビーム反射／屈折光学部品

レーザ・ビームを分割、屈折、反射させる光学部品を使用すると、レイアウトが容易に行えます。

ディファレンシャル & 補正干渉計

1軸および2軸ディファレンシャル・干渉計は、2 つの対象物の距離を測定します。これにより、光学コラムと干渉計間の熱膨張などによる干渉計の不要な変位が大幅に解消されます。

レーザ・ヘッド

キーサイトのレーザ・ヘッドは、高い波長確度により、超精密位置決めシステムに使用され、非常に精度の高い位置情報または距離情報を提供します。

多軸干渉計

2軸や3軸で測定する多軸の干渉計を使用する事で、よりコンパクなスペースで確度の高い測定が可能になります。

PCシステム エレクトロニクス

PCエレクトロニクスは便利なPCバックプレーン・フォーマットで最新のレーザー干渉計性能を提供します。アクシス・ボード、サーボアクシス・ボード、補正ボードがございます。

レシーバ および センサ

システム・パフォーマンスとレイアウトの要求を満たす、オプティカル・レシーバを御使用下さい。
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