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多軸干渉計
2軸や3軸で測定する多軸の干渉計を使用する事で、よりコンパクなスペースで確度の高い測定が可能になります。
YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
2軸や3軸で測定する多軸の干渉計を使用する事で、よりコンパクなスペースで確度の高い測定が可能になります。
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Keysight 10735A 3軸干渉計はステージの線形および角度制御が必要な複数軸アプリケーションで使用されます。
E1715A 3軸コンパクト干渉計は、キーサイトの先進的なモノリシック光学設計技術を採用し、低非線形性誤差の要件を満たしています。
Keysight 10721A 2軸ディファレンシャル干渉計を多軸アプリケーションで使用すると、2つのディファレンシャル測定を同時に実行できます。
The Keysight 10736A three axis interferometer is used in multiple axis applications where linear and angular control of the stage is required.
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