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10736A 3軸干渉計
Keysight 10736A 3軸干渉計はステージの線形および角度制御が必要な複数軸アプリケーションで使用されます。
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HIGHLIGHTS
YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 10736Aは、ステージのリニア/角度制御が必要な多軸アプリケーションに最適な干渉計です。本製品は、オプティカル・ベンチ機能、およびマルチ・ビーム・ベンダ、ビーム・スプリッタ、3つの干渉計を1つのパッケージで提供する統合型コンポーネントです。
- 高性能パッケージによる、セットアップ時間の短縮およびパフォーマンスの向上
- 簡単な多軸の据付け
- 優れた角度分解能による正確な制御
- 広い角度レンジ
- 機械的安定度を高めるモノリシック光学系
- アラインメント済みの光ファイバ・リモート・レシーバをマウント
- 基準光学系
- 高性能パッケージ 統合型パッケージのため、コストおよび時間のかかる多軸測定のセットアップやアラインメントが必要ありません。また、Keysightの工場提供のカスタムのフィクスチャや測定機器により、保証された仕様に従って平行ビームをアラインおよびロックします。これにより、本製品を使用したシステムは、分離型のコンポーネントに比較してはるかに優れた安定度と確度を実現できます。 簡単な据付け すべての軸が干渉計のマウント面を基準にするので、ユーザ提供の基準面へのダイナミック・インストールが簡単です。干渉計をスライドさせて、ボルトで固定するだけで済みます。 優れた角度分解能 多軸ステージに対する優れた制御性能により、リソグラフィ・アプリケーションでの高いグリッド確度を実現できます。 広い角度範囲 9mmレーザ・ビームでの広い角度測定レンジによって、干渉計測制御における、グローバルおよびサイト単位のステージ補正が可能です。これにより、スループットを維持しながら高い位置確度を得られます。 モノリシック光学系 モノリシック光学系による硬い軸間結合により、振動による誤差を最小限に抑えられます。
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