ハイライト

Keysight 10721A 2軸ディファレンシャル干渉計を多軸アプリケーションで使用すると、リニア変位と角度変位(ヨー)の2つのディファレンシャル測定を同時に実行できます。 両測定とも、カラムや検査ツールなどの対象物に取り付けられた外部ミラーを基準にします。 10721Aは、熱膨張などの干渉計の不要な変位に対して高いイミュニティーを備えています。 モジュラー式のコンパクトなデザインで、モノリシック光学系により最大限の機械的安定性を実現しています。 小径3 mmのビームを使用することで、アッベオフセット誤差を低減します。 10721Aは、追加測定軸があることを除けば10719A 1軸ディファレンシャル干渉計とほぼ同じです。

10721Aには、平行なビーム経路を作成するためのシアープレート、ビーム経路を操作するための2つのリフレクター、2枚の1/4波長板が付属しています。

参照ミラーと測定ミラーは、ユーザーが用意する必要があります。

1軸ディファレンシャル測定については、10719Aを参照してください。

  • アプリケーション:2つのディファレンシャル測定、リニアまたは角度
  • 特徴的な機能:2軸ディファレンシャル
  • 軸数:2
  • 最大ビームサイズ:3 mm
  • ビーム分離:仕様を参照
  • 質量:300 g
  • 基本光学分解能:λ/4(158.2 nm、6.2 μin)、2.56 arcsec(12.4 μrad)
  • システム分解能:λ/128(5 nm、0.2 μin)、0.08 arcsec(0.39 μrad)、32x電子分解能エクステンションを使用した場合
  • システム分解能:λ/1024(0.62 nm、0.024 μin)、0.01 arcsec(0.05 μrad)、256x電子分解能エクステンションを使用した場合
  • リフレクター:カスタム
  • 使用するマウント:カスタム
  • 参照:あり
  • 構成の変更:なし

レーザー干渉計位置測定システムの詳細

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 10721A Two Axis Differential Interferometer

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