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產品特性
Keysight 10721A 雙軸差動干涉儀用於多軸應用時，可同時進行兩種差動量測 – 線性和角度（偏擺）位移。 兩項量測均參考安裝在測試柱或檢測工具等物體上的外部反射鏡。 Keysight 10721A 對熱膨脹等不必要的干涉儀位移具有很高的抗干擾能力。 它採用模組化的小型設計，搭配單片式光學元件，可將機械穩定性最大化。 其使用的 3 mm 小波束有助於降低 Abbé 偏移誤差。 Keysight 10721A 與 10719A 單軸差動干涉儀相似，不同之處在於它提供了一個額外的量測軸。
Keysight 10721A 包含一個剪切片（可產生平行的波束路徑）、兩個反向反射器（用於操控波束路徑），以及兩個 1/4 波片。
使用者必須同時提供參考反射鏡和量測反射鏡。
有關單軸差動量測的詳細資訊，請參閱 10719A。
- 應用：2 次差動線性或 2 次角度量測
- 獨特之處：2 軸差動
- 軸數：2
- 最大波束尺寸：3 mm
- 波束分離：查看規格
- 重量：300 g
- 基本光學解析度：λ/4（158.2 nm，6.2 µin），2.56 arcsec（12.4 µrad）
- 系統解析度：λ/128（5 nm，0.2 µin），0.08 arcsec（0.39 µrad），基於使用 32 倍電子解析度擴展
- 系統解析度：λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），0.01 arcsec（0.05 µrad），基於使用 256 倍電子解析度擴展
- 反射器：客製
- 使用的底座：客製
- 提供參考：有
- 改變波束配置：無
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