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B1500A SMU 集成了 4 象限电压/电流源和测量功能，可在 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范围内执行精确的 IV 测量。它支持点测量、扫描测量、脉冲采样和 QS-CV 测量。

HIGHLIGHTS

直流和时间相关测量可让您对电流-电压（IV）测量结果充满信心

  • 4 象限电源和测量功能可让您在低至 fA（毫微微安培）的范围内进行精确的电流-电压（IV）表征
  • 测量范围是 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V
  • 提供点测量、扫描测量、脉冲和采样测量功能
  • 采样测量间隔最低为 100 μs
  • 脉宽最小值为 500 μs，使用 2 μs 分辨率
  • 准静态电容-电压（QS-CV）测量，具有泄露电流补偿
     

在低至次 fA / µV 分辨率上执行低电流/电压测量，实现最佳的直流测量性能

电源/测量单元（SMU）是 Keysight B1500A 半导体器件分析仪的关键测量模块。SMU 集成了电压/电流源和测量功能，可在低至 fA / µV 分辨率上执行精确的直流电流-电压（IV）测量。选件 ASU（自动传感和开关单元）可将低电流测量性能向下扩展至次 fA 范围，为您提供更高的测量性能。
SMU 还可执行准静态电容-电压（QS-CV）测量。它不仅拥有低频 CV 特征，同时还是表征栅极晶体管的表面态以及高频 CV 的重要测量方法。Keysight B1500A 支持精确的 QS-CV 测量和泄露电流补偿。
对于要求进行精密电压/电流测量的半导体、纳米器件（例如碳纳米管（CNT）和碳纳米线（CNW））、有源/无源元件、材料以及任意电气器件，SMU 结合使用 EasyEXPERT 软件的分析和数据管理能力，非常适合对这些器件进行表征。

利用硬件时钟精密计时控制功能可实现精确的时间相关表征（例如脉冲和采样测量）
除了直流测量功能之外，Keysight B1500A SMU 还具备先进的时间相关测量功能，包括脉势测量和采样测量。脉冲和采样测量能够找出并捕获动态特征。计时精度是时间相关测量的重要因素之一。Keysight B1500A SMU 利用硬件时钟精密计时控制功能来执行精确的测量。最低采样测量间隔低至 100 μs，脉宽最小值为 500 μs。
Keysight B1500A 提供 3 种 SMU 以满足您的测试需求。

SMU 型号  主要特性和技术指标 
 B1510A 高功率电源/测量单元（HPSMU）
  • 在 4 象限操作范围内，测量范围高达 200 V / 1 A
  • 最低测量分辨率是 10 fA / 2 μV
  • 最低电源分辨率是 50 fA / 100 µV
 B1511A 中功率电源/测量单元（MPSMU）
  • 在 4 象限操作范围内，测量范围高达 100 V / 0.1 A
  • 最低测量分辨率是 10 fA / 0.5 μV
  • 最低电源分辨率是 50 fA / 25 µV
 B1511B 高分辨率电源/测量单元（HRSMU）
  • 在 4 象限操作范围内，测量范围高达 100 V / 0.1 A
  • 最低测量分辨率是 1 fA / 0.5 μV
  • 最低电源分辨率是 5 fA / 25 µV
  • 选件 ASU（自动传感和开关单元）可将范围向下扩展至 1pA，测量分辨率为 0.1 fA



 

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