如何提升 CMOS 可靠性測試

+ 參數分析儀

改善 CMOS 可靠度特性分析

先進的互補式金屬氧化物半導體（CMOS）技術持續朝向更小的元件幾何尺寸微縮，這會提高電場強度與電流密度，進而縮短元件壽命。工程師必須評估閘極介電質完整性、熱載流子效應（HCI）、偏壓溫不穩定性（BTI）以及電遷移（EM），以確保長期的可靠度。

CMOS 可靠度評估需要多種應力和量測技術，包括介電質崩潰測試、應力-量測-應力特性分析、電容量測以及互連可靠度測試。要達到準確的壽命預估，關鍵在於將應力中斷減至最低、同時支援直流（DC）與交流（AC）應力條件，以及簡化複雜的可靠度測試工作流程。

全面的 CMOS 可靠性測試解決方案

評估 CMOS 可靠度需要具備多項可靠度測試能力，同時能降低設定複雜度並提升量測準確度的量測解決方案。Keysight B1500A 半導體元件分析儀結合了精密源表（SMU）、超快速波形產生器、電容量測以及隨選即用的可靠度測試庫於單一模組化平台中，完全滿足這些需求。其靈活的架構支援閘極介電質完整性、HCI、BTI 和電遷移測試，而 EasyEXPERT 軟體則透過內建的應用程式庫與自動化分析簡化了測試設定。這些功能相輔相成，幫助工程師簡化可靠度特性分析、提升量測重複性，並準確預估元件壽命。

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