如何進行靜脈與中心靜脈特性分析的結合測試

+ 參數分析儀

自動化 IV 與 CV 特性分析

半導體元件的特性分析，通常需要在元件仍位於晶圓上的狀態下，同時進行電流-電壓（IV）與電容-電壓（CV）測量。測量系統必須能支援高精度的電流與電壓源輸出，以及多頻率電容測量，同時須維持穩定的纜線連接、將寄生效應降至最低，並對殘餘測量誤差進行精確補償。

此測量流程整合了 SMU CMU Unify 單元（SCUU）、多頻率電容測量單元（MFCMU）以及自動切換硬體，使電流-電壓（IV）與電壓-電流（CV）測量得以在無需重新連接測量線纜的情況下執行。內建的補償程序與自動化測量序列，不僅能確保特性分析結果的可重複性，更能維持在多個晶圓測試點間的測量精度。

自動化 IV-CV 特性分析解決方案

要進行 IV 與 CV 特性分析，需要一個能在維持穩定探測配置的同時，於高精度電流-電壓與電容-電壓測量之間無縫切換的測量平台。此解決方案整合了是德科技（Keysight）的半導體元件分析儀、多頻率電容測量單元（MFCMU）、源監控單元（SMU）、SMU-CMU 整合單元（SCUU）以及保護開關單元（GSWU），可自動執行測量路由，無需手動更換纜線。 EasyEXPERT 軟體負責管理 IV/CV 切換、開路/短路補償、可選的負載補償，以及自動化測試執行。SCUU 還能透過連接的 SMU，將電容測量之直流偏壓能力擴展至 ±100 V，同時維持準確且可重複的半導體元件特性分析。

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