如何進行靜脈與中心靜脈特性分析的結合測試

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自動化 IV 與 CV 特性化

半導體元件特性化通常需要直接在晶圓上的同一元件上進行電流-電壓 (IV) 與電容-電壓 (CV) 測量。測量系統必須支援精密電流與電壓源以及多頻電容測量，同時保持穩定的纜線連接、將寄生效應降至最低，並對殘餘測量誤差執行準確的補償。

測量過程結合了 SMU CMU 整合單元 (SCUU)、多頻電容測量單元 (MFCMU) 以及自動化切換硬體，因此無需重新連接測量纜線即可執行 IV 和 CV 測量。內建的補償常式與自動化測量定序可在多個晶圓測試點上維持測量準確度的同時，實現可重複的特性化。

自動化 IV-CV 特性分析解決方案

結合 IV 與 CV 的特性化需要能夠在精密電流-電壓與電容-電壓測量之間無縫切換，同時維持穩定探測組態的測量平台。該解決方案將 Keysight 半導體元件分析儀與多頻電容測量單元 (MFCMU)、源極量測單元 (SMU)、SMU CMU 整合單元 (SCUU) 以及保護開關單元 (GSWU) 進行整合，以便自動化測量路由而不需手動更改纜線。EasyEXPERT 軟體可管理 IV/CV 切換、開路/短路補償、選配的負載補償以及自動化測試執行。SCUU 還使用連接的 SMU 將針對電容測量的直流偏壓能力擴展高達 ±100 V，同時維持準確且可重複的半導體元件特性化。
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如何執行 IV 與 CV 聯合特性分析——系統框圖

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