Come eseguire una caratterizzazione combinata IV e CV
Automatizzazione della caratterizzazione IV e CV
La caratterizzazione dei dispositivi a semiconduttore richiede spesso misurazioni sia di corrente-tensione (IV) che di capacità-tensione (CV) sullo stesso dispositivo mentre questo rimane sul wafer. Il sistema di misurazione deve supportare l'erogazione precisa di corrente e tensione insieme a misurazioni di capacità a più frequenze, mantenendo al contempo connessioni via cavo stabili, riducendo al minimo gli effetti parassiti ed eseguendo una compensazione accurata degli errori di misurazione residui.
Il processo di misurazione combina l’unità SMU CMU Unify (SCUU), un’unità di misurazione della capacità multifrequenza (MFCMU) e un sistema di commutazione automatizzato, in modo da consentire l’esecuzione di misurazioni IV e CV senza dover ricollegare i cavi di misurazione. Le routine di compensazione integrate e la sequenza automatizzata delle misurazioni garantiscono una caratterizzazione ripetibile, preservando al contempo la precisione delle misurazioni su più punti di test del wafer.
Soluzione automatizzata per la caratterizzazione CV delle flebo
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Analizzatore di parametri di dispositivi a semiconduttore B1500A / Sistema di caratterizzazione a semiconduttore Mainframe
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