Como realizar a caracterização combinada de IV e CV

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Automatizar a caracterização de IV e CV

A caracterização de dispositivos semicondutores frequentemente requer medições de corrente-tensão (IV) e capacitância-tensão (CV) no mesmo dispositivo, enquanto ele permanece na pastilha. O sistema de medição deve oferecer fontes de corrente e tensão de precisão, juntamente com medições de capacitância em múltiplas frequências, mantendo conexões de cabos estáveis, minimizando efeitos parasíticos e realizando uma compensação precisa dos erros residuais de medição.

O processo de medição combina a Unidade SMU CMU Unify (SCUU), uma Unidade de Medição de Capacitância Multifrequência (MFCMU) e um hardware de comutação automatizada, de modo que as medições IV e CV possam ser realizadas sem a necessidade de reconectar os cabos de medição. Rotinas de compensação integradas e sequenciamento automatizado das medições permitem uma caracterização repetível, preservando a precisão das medições em vários pontos de teste do wafer.

Solução automatizada para caracterização de IV e CV

A caracterização combinada de IV e CV requer uma plataforma de medição capaz de alternar de forma contínua entre medições precisas de corrente-tensão e capacitância-tensão, mantendo uma configuração de sondagem estável. A solução integra o Analisador de Dispositivos Semicondutores da Keysight com a Unidade de Medição de Capacitância Multifrequência (MFCMU), as Unidades de Monitoramento de Fonte (SMUs), a Unidade Unificada SMU-CMU (SCUU) e a Unidade de Chave de Proteção (GSWU) para automatizar o roteamento das medições sem a necessidade de trocas manuais de cabos. O software EasyEXPERT gerencia a alternância entre IV/CV, a compensação de circuito aberto/curto-circuito, a compensação de carga opcional e a execução automatizada de testes. A SCUU também amplia a capacidade de polarização CC para medições de capacitância de até ±100 V usando SMUs conectadas, mantendo uma caracterização precisa e repetível dos dispositivos semicondutores.
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Como realizar a caracterização combinada de IV e CV: diagrama de blocos

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  • Analisador de parâmetros de dispositivos semicondutores B1500A / Mainframe do sistema de caracterização de semicondutores

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