Comment réaliser une caractérisation combinée des circuits intraveineux et circulatoires

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Automatisation de la caractérisation IV et CV

La caractérisation des dispositifs semi-conducteurs nécessite souvent d'effectuer à la fois des mesures courant-tension (IV) et capacité-tension (CV) sur un même dispositif, alors que celui-ci se trouve encore sur la plaquette. Le système de mesure doit permettre de fournir avec précision du courant et de la tension, tout en effectuant des mesures de capacité à plusieurs fréquences, tout en garantissant la stabilité des connexions par câble, en minimisant les effets parasites et en compensant avec précision les erreurs de mesure résiduelles.

Le processus de mesure associe l'unité SMU CMU Unify (SCUU), une unité de mesure de capacité multifréquence (MFCMU) et un matériel de commutation automatisé, ce qui permet d'effectuer des mesures IV et CV sans avoir à reconnecter les câbles de mesure. Les routines de compensation intégrées et la séquence de mesure automatisée garantissent une caractérisation reproductible tout en préservant la précision des mesures sur plusieurs sites de test de plaquettes.

Solution automatisée de caractérisation IV-CV

La caractérisation combinée IV et CV nécessite une plateforme de mesure capable de basculer de manière transparente entre des mesures de courant-tension et de capacité-tension de précision, tout en conservant une configuration de sondage stable. La solution intègre l’analyseur de dispositifs semi-conducteurs Keysight (Semiconductor Device Analyzer) à l’unité de mesure de capacité multifréquence (MFCMU), aux unités de surveillance de source (SMU), à l’unité SMU CMU Unify (SCUU) et à l’unité de commutation de protection (GSWU) afin d’automatiser le routage des mesures sans nécessiter de changements manuels de câbles. Le logiciel EasyEXPERT gère la commutation IV/CV, la compensation d’ouverture/court-circuit, la compensation de charge en option et l’exécution automatisée des tests. L’unité SCUU étend également la capacité de polarisation en courant continu pour les mesures de capacité jusqu’à ±100 V à l’aide des SMU connectées, tout en garantissant une caractérisation précise et reproductible des dispositifs semi-conducteurs.

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Comment réaliser un schéma fonctionnel de caractérisation combinée des circuits IV et CV

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