정맥(IV) 및 정맥-동맥(CV) 특성 분석을 병행하는 방법

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IV 및 CV 특성화 자동화

반도체 소자 특성화에서는 동일한 소자가 웨이퍼상에 있는 동안 전류-전압(IV) 및 커패시턴스-전압(CV) 측정을 모두 수행해야 하는 경우가 빈번합니다. 측정 시스템은 안정적인 케이블 연결을 유지하고 기생 효과를 최소화하며 잔류 측정 오차에 대한 정확한 보상을 수행하는 동시에, 다중 주파수 커패시턴스 측정과 함께 정밀한 전류 및 전압 소싱을 지원해야 합니다.

측정 프로세스는 SMU CMU 통합 유닛(SCUU), 다중 주파수 커패시턴스 측정 유닛(MFCMU), 자동 스위칭 하드웨어를 결합하여 측정 케이블을 다시 연결하지 않고도 IV 및 CV 측정을 실행할 수 있도록 합니다. 내장된 보상 루틴과 자동화된 측정 시퀀싱을 통해 여러 웨이퍼 테스트 사이트에서 측정 정확도를 유지하면서 반복 가능한 특성화를 수행할 수 있습니다.

자동화된 IV-CV 특성 분석 솔루션

결합된 IV 및 CV 특성화를 수행하려면 안정적인 프로빙 구성을 유지하면서 정밀한 전류-전압 측정과 커패시턴스-전압 측정 사이를 원활하게 전환할 수 있는 측정 플랫폼이 필요합니다. 이 솔루션은 수동 케이블 교체 없이 측정 라우팅을 자동화하기 위해 키사이트 반도체 디바이스 Analyzer를 다중 주파수 커패시턴스 측정 유닛(MFCMU), 소스/메이저 유닛(SMU), SMU CMU 통합 유닛(SCUU), 가드 스위치 유닛(GSWU)과 통합합니다. EasyEXPERT 소프트웨어는 IV/CV 스위칭, 개방/단락 보상, 옵션 부하 보상, 자동화된 테스트 실행을 관리합니다. 또한 SCUU는 연결된 SMU를 사용하여 최대 ±100 V의 커패시턴스 측정에 대한 DC 바이어스 기능을 확장하는 동시에 정확하고 반복 가능한 반도체 소자 특성을 유지합니다.
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정맥(IV) 및 심혈관(CV) 특성 분석 병합 수행 방법 블록 다이어그램

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