정맥(IV) 및 정맥-동맥(CV) 특성 분석을 병행하는 방법

견적 받기
매개변수 분석기
+ 파라미터 분석기
매개변수 분석기
+ 파라미터 분석기

IV 및 CV 특성 분석 자동화

반도체 소자의 특성 분석에는 웨이퍼에 부착된 상태에서 동일한 소자에 대해 전류-전압(IV) 및 정전용량-전압(CV) 측정을 동시에 수행해야 하는 경우가 많습니다. 측정 시스템은 안정적인 케이블 연결을 유지하고, 기생 효과를 최소화하며, 잔류 측정 오차에 대해 정확한 보정을 수행하는 동시에, 정밀한 전류 및 전압 공급 기능과 다중 주파수 정전용량 측정 기능을 지원해야 합니다.

이 측정 프로세스는 SMU CMU Unify Unit(SCUU), 다중 주파수 정전용량 측정 장치(MFCMU) 및 자동 전환 하드웨어를 결합하여, 측정 케이블을 다시 연결하지 않고도 IV 및 CV 측정을 수행할 수 있도록 합니다. 내장된 보정 루틴과 자동화된 측정 순서 제어 기능을 통해 여러 웨이퍼 테스트 사이트 전반에 걸쳐 측정 정확도를 유지하면서 재현성 있는 특성 분석을 수행할 수 있습니다.

자동화된 IV-CV 특성 분석 솔루션

IV 및 CV 특성 분석을 동시에 수행하려면, 안정적인 프로빙 구성을 유지하면서 정밀 전류-전압 측정과 정전용량-전압 측정 간에 원활하게 전환할 수 있는 측정 플랫폼이 필요합니다. 이 솔루션은 키사이트 반도체 소자 분석기(Semiconductor Device Analyzer)를 다중 주파수 정전용량 측정 장치(MFCMU), 소스 모니터 장치(SMU), SMU CMU 통합 장치(SCUU) 및 가드 스위치 장치(GSWU)와 통합하여 수동 케이블 교체 없이 측정 경로를 자동화합니다. EasyEXPERT 소프트웨어는 IV/CV 전환, 개방/단락 보정, 선택적 부하 보정 및 자동화된 테스트 실행을 관리합니다. 또한 SCUU는 연결된 SMU를 사용하여 정전용량 측정 시 DC 바이어스 범위를 최대 ±100 V까지 확장하는 동시에, 정확하고 재현성 높은 반도체 소자 특성 분석 기능을 유지합니다.
견적 받기

자동화된 IV 및 CV 특성 분석 솔루션의 블록 다이어그램 보기

정맥(IV) 및 심혈관(CV) 특성 분석 병합 수행 방법 블록 다이어그램

당사의 자동화된 IV-CV 특성 분석 솔루션의 제품 살펴보기

리소스 및 인사이트 알아보기

자동화된 IV-CV 특성 분석에 대한 추가 자료

관련 사용 사례

3D 센싱을 위한 VCSEL LIV 성능 특성 분석 방법

고속 대량 3D 센싱 장치 테스트를 위해 동기화된 SMU 측정을 활용하여 VCSEL의 광-전류-전압 특성을 정확하게 규명한다.

자세히 알아보기

레이저 다이오드의 선형성을 평가하는 방법

동기화된 저잡음 L-I-V 특성 분석 측정을 통해 레이저 다이오드의 선형성을 측정하고 킨크 현상을 감지합니다.

자세히 알아보기

CMOS 신뢰성 테스트를 개선하는 방법

키사이트 B1500A 반도체 소자 분석기를 사용하여 포괄적인 CMOS 신뢰성 테스트를 수행함으로써, 단일 통합 솔루션을 통해 게이트 유전체 무결성, 핫 캐리어 효과, 바이어스 온도 불안정성 및 전기이동을 평가할 수 있습니다.

자세히 알아보기

문의하기 로고

전문가에게 문의하십시오.

적합한 솔루션을 찾는 데 도움이 필요하십니까?

문의하기