如何利用電容式電氣結構測試檢測線鍵合缺陷

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透過高速電容測試篩檢銲線缺陷

銲線檢驗需要識別可能危及組裝製程後半導體元件可靠度的物理變形。檢驗工作流程必須偵測缺陷，例如微短路、銲線下垂、銲線位移、銲線翹起，以及缺少或多餘的銲線，同時確保在進行功能測試之前對每個封裝元件進行一致的篩檢。

檢驗製程包含對每個元件進行電氣篩檢，以識別銲線變形所造成的結構異常。可靠的篩檢取決於非破壞性量測、自動極限產生、統計異常值偵測，以及高產率測試，以支援生產規模的半導體製造，同時提高缺陷涵蓋率與篩檢效率。

用於導線鍵合篩選的高速電氣結構測試

Keysight Electrical Structural Tester 採用無向量測試增強效能（nVTEP）技術，透過電容感測來以電氣方式偵測銲線變形。透過量測電容交連的變化並將待測接腳以外的所有接腳接地，此解決方案可識別結構缺陷，例如微短路、銲線下垂、銲線位移、銲線翹起、多餘或缺少的銲線，以及開路連接。它支援最多 20 個站台的平行測試，每個站台的測試時間最短可達 0.9 秒，同時自動極限產生、統計異常值偵測，以及與自動處理機的無縫整合，能為半導體製造實現高效、可重複且高產率的產線篩檢。
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查看配備 nVTEP 感測器板與平行測試架構的 S8050 EST 方塊圖

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