如何利用電容式電氣結構測試檢測線鍵合缺陷

電氣結構測試儀
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利用高速電容式測試篩查螢幕線焊缺陷

導線接合檢測需辨識那些可能在組裝製程後影響半導體元件可靠性的物理變形。檢測工作流程必須能偵測出近短路、導線下垂、導線偏移、導線翹起,以及導線缺失或多餘等缺陷,同時確保在功能測試前對每個封裝好的元件進行一致性的篩檢。

檢測流程包含對每顆裝置進行電氣篩選,以辨識因導線鍵合變形所導致的結構異常。可靠的篩選需仰賴無損測量、自動設定閾值、統計異常值偵測,以及高通量測試,藉此支援量產規模的半導體製造,同時提升缺陷覆蓋率與篩選效率。

用於導線鍵合篩選的高速電氣結構測試

是德科技(Keysight)電氣結構測試儀採用「無向量測試增強效能」(nVTEP)技術,透過電容感測來檢測導線鍵合的變形。該解決方案透過將除被測引腳外的所有引腳接地,並測量電容耦合的變化,從而識別結構性缺陷,例如近短路、導線下垂、導線偏移、導線翹起、多餘或缺失的導線,以及開路連接。 該設備支援最多 20 個測試點的並行測試,每個測試點的測試時間最短僅需 0.9 秒;同時,透過自動生成限值、統計異常值檢測,以及與自動化處理系統的無縫整合,可為半導體製造提供高效、可重複且高產量的在線篩選。

請參閱配備 nVTEP 感測器板與平行測試架構的 S8050 EST 系統方塊圖

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