如何自動化矽光子學晶圓級功率掃描

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矽光子晶圓的功率掃描

矽光子元件的晶圓級測試需要精確控制和驗證傳輸到每個測試點的光功率。光偵測器、調變器和被動式波導等元件對輸入功率、波長和偏振具有高度敏感性，而光栅耦合器效率、光纖對準和製程變異則會導致晶圓上各測試點之間存在顯著差異。

為準確擷取插入損耗、響應度、飽和行為和靈敏度閱值等參數，工程師必須控制波長、將光偏振對準波導模式，並驗證傳輸到待測元件的實際光功率。自動化光功率掃描工作流程可在晶圓探針站環境中，對數千個晶粒進行一致且可重複的量測。

矽光子學晶圓級光功率掃描解決方案

精確的晶圓級光功率掃描需要協調控制待測元件的波長、偏振和光功率。Keysight 的晶圓級光功率掃描解決方案結合了可調變雷射光源、偏振控制和校準光功率量測，可在晶圓級測試環境中提供可重複、可追蹤的光學輸入條件。可調變雷射光提供波長精確的光學訊號，用於在整個操作頻段內進行元件特性分析。偏振控制將光場對準光子元件支援的模式，確保一致的耦合並降低量測不確定性。光功率計驗證探針介面處的傳輸功率，實現精確、可重複的光功率掃描，且不受耦合或對準變化的影響。
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