Wie man Leistungsmessungen auf Wafer-Ebene in der Siliziumphotonik automatisiert

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Leistungsmessungen an Siliziumphotonik-Wafern

Die Prüfung von Siliziumphotonik-Bauelementen auf Wafer-Ebene erfordert die präzise Steuerung und Verifizierung der optischen Leistung an jedem Testpunkt. Bauelemente wie Fotodetektoren, Modulatoren und passive Wellenleiter reagieren sehr empfindlich auf Eingangsleistung, Wellenlänge und Polarisation, während die Effizienz von Gitterkopplern, die Faserausrichtung und Prozessschwankungen erhebliche Unterschiede zwischen den einzelnen Testpunkten auf einem Wafer verursachen.

Um Parameter wie Einfügungsdämpfung, Empfindlichkeit, Sättigungsverhalten und Empfindlichkeitsschwellenwerte präzise zu ermitteln, müssen Ingenieure die Wellenlänge kontrollieren, die optische Polarisation auf den Wellenleitermodus ausrichten und die tatsächlich an das Prüfobjekt abgegebene optische Leistung überprüfen. Automatisierte Arbeitsabläufe zur optischen Leistungsmessung ermöglichen konsistente und reproduzierbare Messungen an Tausenden von Chips in Wafer-Probe-Station-Umgebungen.

Optische Leistungsmessungslösung auf Wafer-Ebene für Siliziumphotonik

Präzise optische Leistungsmessungen auf Wafer-Ebene erfordern die koordinierte Steuerung von Wellenlänge, Polarisation und optischer Leistung am Prüfling. Die Lösung von Keysight für optische Leistungsmessungen auf Wafer-Ebene kombiniert eine abstimmbare Laserquelle mit Polarisationskontrolle und kalibrierter optischer Leistungsmessung. Dadurch werden reproduzierbare und rückführbare optische Eingangsbedingungen in Testumgebungen auf Wafer-Ebene gewährleistet. Der abstimmbare Laser liefert wellenlängengenaue optische Signale zur Charakterisierung von Bauelementen über alle Betriebsfrequenzbänder hinweg. Die Polarisationskontrolle richtet das optische Feld auf den unterstützten Modus des photonischen Bauelements aus und gewährleistet so eine konsistente Einkopplung und reduziert die Messunsicherheit. Ein optisches Leistungsmessgerät verifiziert die an der Messschnittstelle abgegebene Leistung und ermöglicht präzise und reproduzierbare optische Leistungsmessungen unabhängig von Einkopplungs- oder Ausrichtungsabweichungen.
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Blockdiagramm zur Automatisierung von optischen Leistungsmessungen auf Wafer-Ebene für Siliziumphotonik

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