Como automatizar varreduras de potência em nível de wafer na fotônica de silício

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Limpeza a jato de ar para pastilhas de fotônica de silício

O teste em nível de wafer de dispositivos fotônicos de silício requer controle preciso e verificação da potência óptica fornecida a cada ponto de teste. Dispositivos como fotodetectores, moduladores e guias de onda passivos apresentam grande sensibilidade à potência de entrada, ao comprimento de onda e à polarização, enquanto a eficiência do acoplador de grade, o alinhamento da fibra e as variações do processo introduzem uma variabilidade significativa entre os pontos de teste em toda a wafer.

Para extrair com precisão parâmetros como perda de inserção, responsividade, comportamento de saturação e limiares de sensibilidade, os engenheiros devem controlar o comprimento de onda, alinhar a polarização óptica ao modo do guia de onda e verificar a potência óptica real fornecida ao dispositivo em teste. Os fluxos de trabalho automatizados de varredura de potência óptica permitem medições consistentes e repetíveis em milhares de chips em ambientes de estações de sondagem de wafer.

Solução de varredura de potência óptica ao nível da pastilha para fotônica de silício

Varreduras precisas de potência óptica no nível do wafer exigem o controle coordenado do comprimento de onda, da polarização e da potência óptica no dispositivo em teste. A solução de varredura de potência óptica no nível do wafer da Keysight combina uma fonte de laser sintonizável com controle de polarização e medição calibrada de potência óptica para fornecer condições de entrada óptica repetíveis e rastreáveis em ambientes de teste em escala de wafer. O laser sintonizável fornece sinais ópticos com precisão de comprimento de onda para a caracterização do dispositivo em todas as bandas operacionais. O controle de polarização alinha o campo óptico ao modo suportado pelo dispositivo fotônico, garantindo um acoplamento consistente e reduzindo a incerteza da medição. Um medidor de potência óptica verifica a potência fornecida na interface da sonda, permitindo varreduras de potência óptica precisas e repetíveis, independentemente de variações de acoplamento ou alinhamento.
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Diagrama de blocos: Como automatizar varreduras de potência óptica no nível do wafer para fotônica de silício

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