실리콘 포토닉스 웨이퍼 레벨 전력 스윕을 자동화하는 방법

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실리콘 포토닉스 웨이퍼용 파워 스윕

실리콘 포토닉스 디바이스의 웨이퍼 수준 테스트에는 각 테스트 사이트에 전달되는 광 전력의 정밀한 제어 및 검증이 필요합니다. 포토디텍터, 변조기 및 수동 도파관과 같은 디바이스는 입력 전력, 파장 및 편광에 강한 민감도를 보이는 반면, 격자 커플러 효율, 광섬유 정렬 및 공정 변화는 웨이퍼 전체에 걸쳐 상당한 사이트 간 가변성을 유발합니다.

삽입 손실, 응답성, 포화 동작 및 민감도 임계값과 같은 파라미터를 정확하게 추출하려면 엔지니어는 파장을 제어하고, 광 편광을 도파관 모드에 정렬하며, 테스트 중인 디바이스에 전달되는 실제 광 전력을 검증해야 합니다. 자동화된 광 전력 스윕 워크플로는 웨이퍼 프로브 스테이션 환경에서 수천 개의 다이에 걸쳐 일관되고 반복 가능한 측정을 가능하게 합니다.

실리콘 포토닉스 웨이퍼 레벨 광 출력 스윕 솔루션

정확한 웨이퍼 수준 광 전력 스윕은 테스트 중인 디바이스에서 파장, 편광 및 광 전력의 조정된 제어를 필요로 합니다. 키사이트의 웨이퍼 수준 광 전력 스윕 솔루션은 튜너블 레이저 소스와 편광 제어 및 교정된 광 전력 측정을 결합하여 웨이퍼 스케일 테스트 환경 전반에 걸쳐 반복 가능하고 추적 가능한 광 입력 조건을 제공합니다. 튜너블 레이저는 작동 대역 전반에 걸쳐 디바이스 특성화를 위한 파장 정확한 광 신호를 제공합니다. 편광 제어는 광 필드를 포토닉 디바이스가 지원하는 모드에 정렬하여 일관된 커플링을 보장하고 측정 불확실성을 줄입니다. 광 파워 미터는 프로브 인터페이스에서 전달된 전력을 검증하여 커플링 또는 정렬 변화와 무관하게 정밀하고 반복 가능한 광 전력 스윕을 가능하게 합니다.
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실리콘 포토닉스를 위한 웨이퍼 레벨 광 출력 스윕 자동화 방법 블록 다이어그램

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