- 概述
- 所有型號
- 支援
一體式、全面的半導體裝置特性分析
Keysight 參數分析儀在單一整合式平台中提供全面的半導體元件特性分析。這些模組化系統結合了精密的電流-電壓 (IV) 和電容-電壓 (CV) 量測、脈衝量測和可靠性測試，可支援從先進材料到高功率元件的各種裝置。憑藉業界領先的量測準確度、彈性的配置選項和直觀的軟體控制，Keysight 參數分析儀有助於加速元件的研究、開發和驗證。立即索取報價或訂購我們的熱門配置之一。需要協助選擇？請查看下方資源。
彈性模組化設計
配置您的分析儀，最多可搭配 10 個可互換模組，以符合各種測試需求，包括 SMU、CV 量測儀、波形產生器和切換矩陣。
全範圍量測
準確地對從次飛安級漏電流到千伏級功率切換的裝置進行特性分析，支援從低功率研究到先進功率半導體測試的所有應用。
具備未來擴充能力
隨著需求增長，可透過增加更高功率模組、脈衝量測單元或切換功能，輕鬆升級以擴展測試覆蓋範圍，而無需更換整個系統。
整合式測試軟體
透過包含預建測試程式庫、即時繪圖和進階資料比較工具的圖形化介面，簡化測試設定與分析。
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Maximum output current
1 A DC / 3 A pulse 至 2 A DC / 40 A pulse
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最小電流量測解析度
0.1 fA 至 10 fA
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Number of channels
5 至 10
最熱門配置
半導體元件參數分析儀/半導體特性分析系統主機
功率元件分析儀/曲線追蹤儀
預先配置的功率元件分析儀/曲線追蹤儀（B1505A 配備模組與測試夾具）
服務與支援
透過精選支援方案以及優先回應與周轉時間，加速創新。
取得可預測的租賃式訂閱和完整的生命週期管理解決方案，讓您更快達成業務目標。
成為 KeysightCare 訂閱者，體驗更優質的服務，獲得承諾的技術回應及更多。
確保您的測試系統符合規格要求，並符合當地與全球標準。
透過內部講師指導的訓練和線上學習，快速進行量測。
下載 Keysight 軟體，或將您的軟體更新至最新版本。
常見問題
參數分析儀是一種整合式模組化測試系統，它將多種半導體量測功能，包括電流-電壓 (IV)、電容-電壓 (CV)、脈衝和開關量測，整合到單一機箱中。與獨立的 SMU 或零散的儀器設定不同，參數分析儀提供內建時序、自動化和分析軟體的緊密同步多領域量測。它們針對半導體元件特性分析進行了優化，在靈活的測試架構內提供從飛安培到千伏和安培的高解析度源/量測功能。其主要優勢在於系統級一致性、易於配置和可擴展性，可實現更快的測試開發、儀器間一致的時序，以及無需外部同步或手動整合即可無縫量測基本和複雜的元件結構。
參數分析儀廣泛應用於各種技術的半導體裝置研發、建模和可靠性測試。它們非常適合用於特性分析離散裝置（例如：二極體、MOSFET、BJT）、先進電晶體（例如：FinFET、HEMT）、功率元件（例如：IGBT、SiC/GaN FET），以及有機半導體、2D 層或電阻式記憶體單元等新型材料。由於其超寬的量測範圍，參數分析儀適用於從量測閘極介電層中的超低洩漏電流，到評估脈衝或連續偏壓下高壓裝置的崩潰特性等各種應用。它們也適用於電路級測試、建模參數提取（例如：Id-Vg、Id-Vd、gm、Ron）和靜電放電 (ESD) 穩固性研究。學術實驗室、半導體晶圓廠和裝置製造商都依賴它們來確保從設計到生產整個生命週期的全面驗證。
參數分析儀支援多達十個量測模組，使用者可根據其特定應用進行配置。這些模組可包括精密 SMU、高壓或高電流 SMU、電容式量測單元 (CMU)、快速脈衝模組 (WGFMU)、切換矩陣等。這種模組化設計讓使用者能夠為多端子裝置客製化系統，在一次掃描中結合 IV 和 CV 測試，或執行涉及電壓應力、溫度變化或時間相關崩潰測試的自動化序列。模組可以新增、升級或更換，而無需更換整個系統，使其具有未來性，並能適應新的裝置類型或方法。此設計還支援同步觸發、即時控制和內部佈線，可減少佈線複雜性並最大程度地減少寄生誤差。
參數分析儀提供多種先進的電氣特性分析技術，緊密整合在單一測試環境中。其中包括：
- 準靜態 IV 和 CV 測量：用於臨界電壓、次臨界擺幅、開關電流比、閘極漏電流、接面電容和體效應研究。
- 脈衝 IV 測試：最大限度地減少高功率或高速切換下元件的自熱和電荷捕獲效應。
- 電容-電壓 (CV) 分析：使用低頻和高頻 CV 方法，提取摻雜分佈、氧化層厚度和介面態。
- 應力與可靠性測試：透過長時間偏壓和帶記錄的定時掃描，支援 NBTI、HCI、TDDB 和 SILC 等測試。
- 溫度相關分析：與溫度探針台或溫箱介接，進行變溫特性分析。
- 嵌入式分析工具： 即時繪圖、參數提取範本（例如 gmmax、Vth shift、Rds(on)）、合格/不合格比較以及腳本 API（例如 Python、SCPI），無需外部軟體即可實現可重複的測試自動化和分析工作流程。
參數分析儀的選擇，很大程度上取決於應用所需的目標電壓、電流和量測準確度。對於類比 IC、先進 CMOS 或感測器等低功率裝置，配備精密低電流 SMU（解析度低至 0.1 fA）和 CMU 的標準參數分析儀是理想之選。這些系統提供洩漏電流和次臨界行為分析所需的靈敏度和穩定性。相較之下，SiC 和 GaN 功率 MOSFET 或 IGBT 等高功率裝置，則需要支援高達 3000 V 和 1500 A 電源供應的分析儀。這些分析儀包含具備順從保護的專用功率 SMU、用於暫態響應的高速量測，以及保護操作員和待測裝置的安全功能。工程師還應考量：
- 脈衝寬度和上升時間能力，可最大程度地減少熱效應，
- 高電壓量測的保護與遮罩設計，
- 待測裝置的散熱要求，
- 與切換矩陣或晶圓探針台整合，以及
- 若在高流量環境中使用，請測試輸送量和自動化介面。