參數分析儀：B1505A

功率元件分析儀/曲線追蹤儀

B1505A 功率元件分析儀/曲線追蹤儀是一款單機解決方案，可用於評估 sub-pA 到 10 kV & 1,500 A 的功率元件。它具有精確量測 10 µs 脈衝和 µΩ 導通電阻（on-resistance）的量測功能。

Maximum output current

2 A DC / 40 A pulse
最小電流量測解析度

10 fA
Number of channels

10

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焦點訊息

在各種不同的操作條件下進行精密量測

多合一解決方案，可在 1,500 A 和 10 kV 高功率下分析功率元件特性
具高電壓偏壓（例如 1,200 V 時 500 mA），適合進行中電流量測
µΩ 導通電阻量測功能
可在高電壓偏壓下進行準確的 pA（sub-picoamp）級電流量測
可在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 的寬溫範圍內進行全自動熱測試

多元的元件評估功能

可在高達 3,000 V 直流偏壓下執行全自動電容量測（Ciss、Coss、Crss 等）
可在 10 µs 的極短時間內進行高功率脈衝量測
可用於進行封裝元件和晶圓上 IGBT/FET 閘極電荷量測
可快速切換進行高電壓與大電流量測，以便分析氮化鎵（GaN）電流崩潰效應的特性
具有多達 5 個高電壓（3 kV）電源量測通道，提供最大的靈活性
透過互鎖測試夾具執行安全的溫度相關測試

顯著提升量測效率

自動在高電壓和強電流量測之間切換，無需重新佈線
自動測試電路形成，可用於封裝元件和晶圓上元件的電晶體介面電容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等）量測
具安全互鎖設計的標準測試夾具，可保障封裝功率元件測試的安全性
支援高達 200 A 電流和 10 kV 電壓的晶圓上高功率測試，並確保測試安全性
可在示波器檢視模式中驗證所施加的電壓與電流波形
基於 MS Windows 的 EasyEXPERT 軟體可有效管理資料並簡化資料分析流程

易於升級與擴充的硬體架構

有各種量測模組可供選擇
支援多達 6 個針腳的高功率元件

Keysight B1505A 功率元件分析儀/曲線追蹤儀是市面上唯一具有 sub-picoamp 到 10 kV 和 1,500 A 寬廣量測範圍，可全面分析高功率元件特性的單機式解決方案。工程師可利用這些功能來評估新型元件（例如 IGBT）和材料（例如 GaN 和 SiC）。 B1505A 支援各種模組：高壓 SMU（HVSMU）、大電流 SMU（HCSMU）、超大電流（UHC）模組、超高壓（UHV）模組，以及高電壓中電流（HVMC）模組。 B1505A 還支援高功率 SMU（1 A/200 V）、中功率 SMU（100 mA/100 V）、中電流 SMU（1 A/30V 脈衝，100 mA/30V 直流），以及多頻電容量測單位（1 kHz – 5 MHz）。它的 10 插槽模組化主機讓您依量測需求，對 B1505A 進行適當的配置。

此外，它可在高達 3,000 V 的高電壓偏壓下，執行全自動電容量測（例如 Ciss、Coss 和 Crss），並可輕鬆評估閘極電荷（高頻切換轉換器的另一個重要參數）。可在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 的寬溫範圍內進行自動熱特性分析。

B1505A 軟體環境基於 Microsoft® Windows® 10 作業系統，方便使用者利用曲線追蹤器來查驗元件特性並偵測故障問題。和傳統的曲線追蹤儀一樣，B1505A 支援旋鈕控制變量掃描功能，以便即時評估崩潰電壓等參數。它還具備「示波器檢視」功能，可協助操作人員將施加於元件的電壓和電流最佳化。量測設定資訊和資料會自動儲存在 B1505A 內建硬碟中，或是轉存到 USB 隨身碟和其他可攜式儲存裝置。彙整後，工程師可輕鬆地將量測資料複製到工程報告中。

強大的測試夾具解決方案可確保操作人員的安全（避免遭受高電壓和電流衝擊），並支援各種不同的功率元件封裝類型。傳統的曲線追蹤儀有個限制，就是某些功率元件因尺寸關係而無法加以量測，有時甚至需要臨時加裝轉接器才能測試這些元件。相較之下，B1505A 的測試夾具可用於各種不同尺寸與形狀的元件，例如功率 MOSFET、二極體、絕緣閘雙極電晶體（IGBT）等。這是透過具有可客製測試夾具模組的大型測試夾具轉接器實現的。此外，測試夾具內建的互鎖機制，可確保使用者能夠安全地將高電壓與電流輸入待測元件。

是德科技提供轉換套件，方便使用者將其現有的 B1500A 主機轉換為 B1505A 主機。如此一來，B1500A 的使用者能以更低的成本，擴充其現有儀器的電壓和電流量測功能。

模組選購指南

量測資源	必備的模組/擴充器	需要的插槽數	最高配置	主要規格
高功率 SMU（HPSMU）	B1510A HPSMU	2	4	最高可輸出 200 V 電壓、1A 電流

10 fA 電流解析度

中功率 SMU（MPSMU）	B1511B MPSMU	1	10	最高可輸出 100 V 電壓、100 mA 電流、10 fA 電流解析度
大電流 SMU（HCSMU）	B1512A HCSMU	2	2	20 A/20 V（脈衝）；1 A/40 V（直流）*1
高電壓 SMU（HVSMU）	B1513C HVSMU	2	5	1,500 V/8 mA；3,000 V/4 mA（脈衝和直流）
中電流 SMU（MCSMU）	B1514A MCSMU	1	6	1 A/30 V（脈衝）；100 mA/30 V（直流）
多頻電容量測設備（MFCMU）	B1520A MFCMU	1	1	1 kHz 至 5 MHz

0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內部直流偏壓
0 至 ±3,000 V，使用 HVSMU 和高壓 T 型偏壓器

高電壓中電流模組（HVMCU）	N1266A HVSMU 電流擴充器、 B1513B HVSMU 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	4 - 6	1	±1,500 V/2.5 A（脈衝）、±2,200 V/ 1.1 A（脈衝）
超大電流設備（UHCU）	N1265A 超大電流擴充器/夾具，以及兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	2 - 4	1	1,500 A/60 V（脈衝），22.5 kW 峰值功率， ±500 A/60 V（脈衝），7.5 kW 峰值功率
超高壓裝置（UHVU）	N1268A 超高壓擴充器和兩個 B1514A MCSMU ，或是一個 B1512A HCSMU 和一個 B1514A MCSMU 的組合	2 - 3	1	10 kV/10 mA（直流）；10 kV/20 mA（脈衝）