パラメトリック・アナライザ デバイス特性評価用オールインワンシステム

広範な動作条件にわたる正確な測定

• 最大1500 A/10 kVのパワーデバイス特性評価のためのSCS一体型ソリューション
• 高電圧バイアスでの中電流測定機能（例：1200 Vで500 mA）
• μΩオン抵抗測定機能
• 高電圧バイアスでの正確なサブpAレベルの電流測定
• 完全自動温度測定（－50 ℃～＋250 ℃）

豊富なデバイス評価機能

• 完全自動キャパシタンス（Ciss、Coss、Crssなど）測定（最大3000 VのDCバイアス）
• 最小10 μsまでのハイパワー・パルスド測定
• パッケージデバイスとオンウェーハの両方のIGBT/FETゲート電荷測定に対応
• GaN電流コラプスの影響を特性評価するための高電圧／大電流高速スイッチオプション
• 最大5個の高電圧(3 kV)電源／測定チャネルによる優れた柔軟性
• インターロック機構搭載テストフィクスチャによる安全な温度依存テスト

測定効率の向上

• ケーブルのつなぎ替えることなく高電圧測定と大電流測定が可能
• パッケージデバイスとオンウェーハデバイスの両方のトランジスタ接合容量（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cdsなど）測定のための自動テスト回路形成
• パッケージ・パワー・デバイス用のセーフティインターロック付き標準テストフィクスチャ
• ハイパワー・デバイスのオンウェーハ測定（＞200 A、最大10 kV）
• オシロスコープ・ビューでの印加電圧／電流波形の検証
• MS WindowsベースのEasyEXPERTソフトウェアによるデータ管理とデータ解析の簡素化

アップグレードと拡張が可能なハードウェアアーキテクチャ

• 豊富な測定モジュール
• 最大6個のピンによるハイ・パワー・デバイスのサポート

B1505Aパワー・デバイス・アナライザ／カーブトレーサは、ハイ・パワー・デバイスの特性評価をpA以下のレベルから10 kV/1500 Aまでの範囲で実行できる、唯一のワンボックスソリューションです。 このような機能は、IGBTやGaN、SiCのような材料など、新しいデバイスの評価に対応します。 B1505Aはさまざまなモジュールをサポートします：高電圧SMU（HVSMU）、大電流SMU（HCSMU）、超大電流（UHC）モジュール、超高電圧（UHV）モジュール、高電圧中電流（HVMC）モジュール。 またB1505AはハイパワーSMU（1 A/200 V）、ミディアムパワーSMU（100 mA/100 V）、中電流SMU（1 A/30 Vパルスド、100 mA/30 V DC）、マルチ周波数容量測定ユニット（1 kHz～5 MHz）もサポートしています。 この10スロットのモジュラー・メインフレームによりB1505Aを測定ニーズに適合できるように構成することができます。

堅牢なテスト・フィクスチャ・ソリューションは、さまざまなタイプのパワー・デバイス・パッケージをサポートするだけでなく、オペレーターの安全を確保（高電圧／大電流が発生するので）するためにも重要です。 従来のカーブトレーサには、その大きさが原因で一部のパワーデバイスを評価できないという制限があり、デバイスをテストするためにアダプタを応急的に取り付ける必要がある場合もありました。 しかし、B1505Aのテストフィクスチャは、サイズや形状に関係なく、MOSFET、ダイオード、IGBTなどのさまざまなデバイスをサポートします。 これは、大型のテスト・フィクスチャ・アダプタとカスタム・テスト・フィクスチャ・モジュールによって実現しました。 さらに、テストフィクスチャに内蔵されているインターロック機構によって、テストデバイスに高電圧／大電流を安全に印加することができます。

キーサイトでは、既存のB1500AメインフレームからB1505Aメインフレームへの移行用キットも提供しています。 これにより、現在B1500Aをお使いの方も、電圧／電流測定機能をより安価に拡張することができます。

また、高電圧バイアス（最大3000 V）でのCiss、Coss、Crssやゲート電荷の完全自動キャパシタンス測定が可能で、高周波スイッチングコンバータ分野の重要なパラメータも簡単に評価できます。 -50 ℃～＋250 ℃の自動温度評価もサポートしています。

B1505Aソフトウェア環境は、Microsoft® Windows® 10のオペレーティングシステムをベースにしたもので、便利なカーブトトレーサ機能を使ってデバイス特性をチェックしたり、デバイスの不具合を検出することができます。 B1505Aでは、従来のカーブトトレーサと同様に、ロータリーノブを使用してさまざまな掃引機能を制御することができます。 ブレークダウン電圧のようなパラメータをリアルタイムで評価することもできます。 また、「オシロスコープビュー」機能を使用すれば、オペレータはデバイスに印加されている電圧や電流を最適にすることができます。 測定セットアップ情報および測定データは、B1505Aの内蔵ハードディスクドライブに自動的に記録されます。 この情報やデータは、USBメモリデバイスなどのポータブル記憶デバイスにコピーすることができます。 測定データもデバイス測定サマリーとともに、技術報告書に簡単にコピーできます。

堅牢なテスト・フィクスチャ・ソリューションは、さまざまなタイプのパワー・デバイス・パッケージをサポートするだけでなく、オペレータの安全を確保（高電圧／大電流が発生するので）するためにも重要です。 従来のカーブトトレーサには、その大きさが原因で一部のパワーデバイスを評価できないという制限があり、デバイスをテストするためにアダプタを応急的に取り付けることが必要な場合もありました。 しかし、B1505Aのテストフィクスチャは、サイズや形状に関係なく、MOSFET、ダイオード、IGBTなどのさまざまなデバイスをサポートします。 これは、大型のテスト・フィクスチャ・アダプタとカスタム・テスト・フィクスチャ・モジュールによって実現しました。 さらに、テストフィクスチャに内蔵されているインターロック機構によって、テストデバイスに高電圧／大電流を安全に印加することができます。

キーサイトでは、既存のB1500AメインフレームからB1505Aメインフレームへの移行用キットも提供しています。 これにより、現在B1500Aをお使いの方も、電圧／電流測定機能をより安価に拡張することができます。

モジュール・セレクション・ガイド

*1. 2つのHCSMUとデュアルHCSMUコンビネーションアダプタを使用することにより、電流範囲を40 A/20 V（パルスド）および2 A/40 V（DC）まで拡大できます。

Microsoft® およびWindows® は、Microsoft Corporationの登録商標です。

電流-電圧アナライザの詳細については、以下のWebサイトをご覧ください。プレシジョン電流／電圧アナライザ