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올인원, 포괄적인 반도체 디바이스 특성화
키사이트 파라미터 분석기는 단일 통합 플랫폼에서 포괄적인 반도체 디바이스 특성화를 제공합니다. 정밀 IV(전류-전압) 및 CV(정전 용량-전압) 테스트, 펄스 측정, 신뢰성 테스트를 결합한 이 모듈형 시스템은 첨단 소재부터 고전력 부품에 이르는 광범위한 디바이스를 지원합니다. 업계 최고의 측정 정확도, 유연한 구성 옵션, 직관적인 소프트웨어 제어 기능을 갖춘 키사이트 파라미터 분석기는 디바이스 연구, 개발 및 검증을 가속화하는 데 도움이 됩니다. 지금 견적을 요청하거나 인기 있는 구성 중 하나를 주문하십시오. 선택에 도움이 필요하십니까? 아래 자료를 확인하십시오.
유연한 모듈형 설계
최대 10개의 교체 가능한 모듈로 분석기를 구성하여 SMU, CV 미터, 파형 발생기, 스위치 매트릭스를 포함한 광범위한 테스트 요구 사항에 맞추십시오.
전 범위 측정
서브 펨토암페어 누설 전류부터 킬로볼트 전력 스위칭까지 디바이스를 정확하게 특성화하여 저전력 연구부터 첨단 전력 반도체 테스트까지 모든 것을 지원합니다.
미래 지향적 확장성
요구 사항이 증가함에 따라 고전력 모듈, 펄스 측정 장치 또는 스위칭 기능을 추가하여 시스템 교체 없이 테스트 범위를 확장함으로써 쉽게 업그레이드할 수 있습니다.
통합 테스트 소프트웨어
사전 구축된 테스트 라이브러리, 실시간 플로팅 및 고급 데이터 비교 도구를 포함하는 그래픽 인터페이스를 통해 테스트 설정 및 분석을 간소화합니다.
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Maximum output current
1 A DC / 3 A pulse ~ 2 A DC / 40 A pulse
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최소 전류 측정 분해능
0.1 fA ~ 10 fA
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Number of channels
5 ~ 10
가장 인기 있는 구성
반도체 디바이스 파라미터 분석기/반도체 특성화 시스템 메인프레임
전력 디바이스 분석기/커브 트레이서
사전 구성 전력 디바이스 분석기/커브 트레이서(모듈 및 픽스처를 포함한 B1505A)
서비스 및 지원
엄선된 지원 플랜과 우선적인 응답 및 처리 시간을 통해 빠르게 혁신하십시오.
예측 가능한 리스 기반 구독 및 전체 수명 주기 관리 솔루션을 통해 비즈니스 목표를 더 빠르게 달성하십시오.
KeysightCare 구독자로서 향상된 서비스를 경험하고 전담 기술 지원 및 더 많은 혜택을 받으세요.
테스트 시스템이 사양에 따라 작동하고 현지 및 글로벌 표준을 충족하는지 확인하십시오.
사내 강사 주도 교육 및 이러닝을 통해 신속하게 측정하십시오.
키사이트 소프트웨어를 다운로드하거나 최신 버전으로 업데이트하십시오.
자주 묻는 질문
파라미터 분석기는 전류-전압(IV), 커패시턴스-전압(CV), 펄스 및 스위칭을 포함한 여러 반도체 측정 기능을 단일 섀시에 통합한 모듈형 통합 테스트 시스템입니다. 독립형 SMU 또는 개별 계측기 설정과 달리, 파라미터 분석기는 내장된 타이밍, 자동화 및 분석 소프트웨어를 통해 긴밀하게 동기화된 다중 도메인 측정을 제공합니다. 이 시스템은 반도체 디바이스 특성화를 위해 최적화되어 있으며, 펨토암페어부터 킬로볼트 및 암페어까지 고해상도 소스/측정 기능을 유연한 테스트 아키텍처 내에서 제공합니다. 주요 장점은 시스템 수준의 일관성, 손쉬운 구성 및 확장성에 있으며, 이를 통해 외부 동기화나 수동 통합 없이도 더 빠른 테스트 개발, 계측기 간 일관된 타이밍, 그리고 기본 및 복잡한 디바이스 구조 모두에 대한 원활한 측정이 가능합니다.
파라미터 분석기는 다양한 기술 분야의 반도체 디바이스 R&D, 모델링 및 신뢰성 테스트에 널리 사용됩니다. 이 시스템은 개별 디바이스(예: 다이오드, MOSFET, BJT), 고급 트랜지스터(예: FinFET, HEMT), 전력 부품(예: IGBT, SiC/GaN FET) 및 유기 반도체, 2D 레이어 또는 저항성 메모리 셀과 같은 신소재 특성화를 위한 이상적인 솔루션입니다. 초광범위 측정 범위 덕분에 파라미터 분석기는 게이트 유전체의 초저 누설 전류 측정부터 펄스 또는 연속 바이어스 조건에서 고전압 디바이스의 항복 특성 평가에 이르기까지 모든 작업에 적합합니다. 또한 회로 수준 테스트, 모델링 파라미터 추출(예: Id-Vg, Id-Vd, gm, Ron) 및 정전기 방전(ESD) 견고성 연구에도 효과적입니다. 학술 연구소, 반도체 파운드리 및 디바이스 제조업체는 설계부터 생산 수명 주기 전반에 걸쳐 포괄적인 검증을 보장하기 위해 파라미터 분석기를 사용합니다.
파라미터 분석기는 사용자가 특정 애플리케이션에 따라 구성할 수 있는 최대 10개의 측정 모듈을 지원합니다. 이러한 모듈에는 정밀 SMU, 고전압 또는 고전류 SMU, 커패시턴스 측정 장치(CMU), 고속 펄스 모듈(WGFMU), 스위칭 매트릭스 등이 포함될 수 있습니다. 이러한 모듈성은 사용자가 다중 터미널 디바이스에 맞게 시스템을 조정하고, 단일 스위프 내에서 IV 및 CV 테스트를 결합하거나, 전압 스트레스, 온도 변화 또는 시간 의존적 항복 테스트를 포함하는 자동화된 시퀀스를 실행할 수 있도록 합니다. 모듈은 전체 시스템을 전면적으로 교체하지 않고도 추가, 업그레이드 또는 교체할 수 있어 미래 지향적이며 새로운 디바이스 유형 또는 방법론에 적응할 수 있습니다. 이 설계는 또한 동기화된 트리거링, 실시간 제어 및 내부 라우팅을 지원하여 배선 복잡성을 줄이고 기생 오류를 최소화합니다.
파라미터 분석기는 단일 테스트 환경 내에 긴밀하게 통합된 다양한 고급 전기적 특성화 기술을 제공합니다. 여기에는 다음이 포함됩니다:
- 준정적 IV 및 CV 측정: 문턱 전압, 서브스레숄드 스윙, 온/오프 전류비, 게이트 누설, 접합 커패시턴스 및 바디 효과 연구용.
- 펄스 IV 테스트: 고전력 또는 고속 스위칭 조건에서 디바이스의 자체 발열 및 전하 트래핑 효과를 최소화합니다.
- 커패시턴스-전압(CV) 프로파일링: 저주파 및 고주파 CV 방법을 사용하여 도핑 프로파일, 산화막 두께 및 계면 상태를 추출합니다.
- 스트레스 및 신뢰성 테스트: 장시간 바이어싱 및 로깅 기능이 있는 시간 지정 스위프를 통해 NBTI, HCI, TDDB, SILC와 같은 테스트를 지원합니다.
- 온도 의존적 분석: 가변 온도 특성화를 위해 열 척 또는 챔버와 인터페이스합니다.
- 내장 분석 도구: 실시간 플로팅, 파라미터 추출 템플릿(예: gmmax, Vth shift, Rds(on)), 합격/불합격 비교 및 스크립팅 API(예: Python, SCPI)를 통해 외부 소프트웨어 없이도 반복 가능한 테스트 자동화 및 분석 워크플로를 구현할 수 있습니다.
파라미터 분석기 선택은 애플리케이션에 필요한 목표 전압, 전류 및 측정 정확도에 크게 좌우됩니다. 아날로그 IC, 고급 CMOS 또는 센서와 같은 저전력 디바이스의 경우 정밀 저전류 SMU(0.1 fA 분해능까지) 및 CMU를 갖춘 표준 파라미터 분석기가 이상적입니다. 이러한 시스템은 누설 전류 및 서브스레시홀드 동작 분석에 필요한 감도와 안정성을 제공합니다. 이와 대조적으로 SiC 및 GaN 전력 MOSFET 또는 IGBT와 같은 고전력 디바이스는 최대 3000V 및 1500A 소싱을 지원하는 분석기를 필요로 합니다. 이러한 분석기에는 컴플라이언스 보호 기능이 있는 특수 전력 SMU, 과도 응답을 위한 고속 측정, 그리고 작업자와 DUT를 모두 보호하는 안전 기능이 포함됩니다. 엔지니어는 다음 사항도 고려해야 합니다.
- 열 효과를 최소화하기 위한 펄스 폭 및 상승 시간 기능,
- 고전압 측정을 위한 가드 및 차폐 설계,
- DUT의 열 방출 요구 사항,
- 스위칭 매트릭스 또는 웨이퍼 프로버와의 통합, 그리고
- 대량 생산 환경에서 사용될 경우 테스트 처리량 및 자동화 인터페이스.