如何對裝置進行 250 GHz 的特性分析

自放電分析儀
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將寬頻特性分析範圍擴展至 250 GHz

寬頻向量網路分析儀的量測會使用經校準的測試系統,以擷取涵蓋微波、毫米波及亞太赫茲頻段的散射參數。工程師將被測裝置連接至寬頻同軸量測介面,並選定頻率範圍、端口、激勵條件及校準方法。視網路分析儀的配置而定,量測可從 100 kHz 或 10 MHz 開始,並延伸至 250 GHz。 該測試系統包含網路分析儀、測試機控制器、頻率延伸器,以及相容的 0.5 mm 校準套件。雙端口配置用於表徵單端裝置;四端口配置則支援差分測量。在校準過程中,會在擷取裝置響應之前建立測量參考平面。

校準完成後,分析儀會掃描已設定的頻率範圍,並將裝置的響應記錄為一組連續的 S 參數曲線。工程師可檢視整個頻率範圍內的插入損耗、回波損耗,以及傳輸或反射特性,而無需將獨立的波導頻帶測量結果進行整合。 可將緊湊型頻率延伸器放置於裝置附近,以縮短測試介面與被測裝置之間的高頻連接距離。對於有源裝置,延伸器內建的偏壓T型接頭可提供所需的偏壓連接,具體取決於裝置及測試配置。透過適當的夾具或探測介面,可對晶圓上結構、封裝、互連、放大器及其他元件進行特性分析。在整個掃描過程中,測量工作流程均維持相同的寬頻配置。

寬頻 250 GHz 矢量網路分析儀 (VNA) 特性分析解決方案

進行寬頻單次掃描 S 參數特性分析,需要一台經校準的向量網路分析儀 (VNA)、測試系統控制器、頻率延伸器,以及適當的裝置連接方式。此解決方案結合了相容的 Keysight PNA 或 PNA-X 分析儀、N5292A 測試系統控制器、P9500A 頻率延伸器集線器,以及 NA5307A 頻率延伸器,可實現高達 250 GHz 的測量範圍。 該頻率延伸器採用 0.5 mm 同軸測試埠,可放置於被測裝置附近,以縮短高頻連接線長度。 雙埠與四埠配置分別支援單端與差分特性分析。NA5307A 內建偏置 T 型接頭,用於主動元件測試;而 85065A 精密機械校準套件則支援寬頻介面的校準作業。此寬頻向量網路分析儀配置專為毫米波元件特性分析而設計,並可進行從微波至亞太赫茲頻段的 S 參數測量。 

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