250 GHzまでのデバイスの特性評価方法

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ブロードバンド特性評価の周波数範囲を250 GHzまで拡張

広帯域ベクトルネットワークアナライザによる測定では、校正済みの試験システムを使用して、マイクロ波、ミリ波、およびサブテラヘルツ周波数帯にわたる散乱パラメータを測定します。エンジニアは、被測定機器を広帯域同軸測定インターフェースに接続し、周波数範囲、ポート、刺激条件、および校正方法を選択します。ネットワークアナライザの構成に応じて、測定は100 kHzまたは10 MHzから開始し、250 GHzまで拡張可能です。 このセットアップには、ネットワークアナライザ、テストセットコントローラ、周波数エクステンダ、および互換性のある0.5 mm校正キットが使用されます。2ポート構成ではシングルエンドデバイスの特性評価を行い、4ポート構成では差動測定に対応します。校正により、デバイスの応答を取得する前に測定基準面が確立されます。

校正後、アナライザは設定された周波数範囲をスキャンし、デバイスの応答を連続したSパラメータトレースとして記録します。エンジニアは、個別の導波管帯域の測定結果を組み合わせるのではなく、周波数範囲全体にわたる挿入損失、反射損失、および伝送または反射の挙動を検査します。 コンパクトな周波数エクステンダーをデバイスの近くに配置することで、テストインターフェースと被測定デバイス間の高周波接続距離を短縮できます。アクティブデバイスについては、エクステンダーに内蔵されたバイアスティーが、デバイスおよびテスト構成に応じて必要なバイアス接続をサポートします。オンウェハー構造、パッケージ、相互接続、増幅器、その他のコンポーネントは、適切なフィクスチャまたはプロービングインターフェースを使用して特性評価を行うことができます。測定ワークフローは、スイープ全体を通じて同じ広帯域構成を維持します。

250 GHz帯ブロードバンドVNAによる特性評価ソリューション

ブロードバンド・シングルスイープによるSパラメータ特性評価には、校正済みのベクトルネットワークアナライザ（VNA）、テストセットコントローラ、周波数エクステンダ、および適切なデバイス接続が必要です。このソリューションは、互換性のあるキーサイト社製PNAまたはPNA-Xアナライザ、N5292Aテストセットコントローラ、P9500A周波数エクステンダハブ、およびNA5307A周波数エクステンダを組み合わせ、250 GHzまでの測定を実現します。 このエクステンダーは0.5 mmの同軸テストポートを採用しており、被測定デバイスの近くに配置することで、高周波接続の長さを短縮できます。 2ポートおよび4ポート構成により、それぞれシングルエンドおよび差動特性評価に対応しています。NA5307Aにはアクティブデバイス試験用のバイアスティーが付属しており、85065A精密機械式校正キットにより、広帯域インターフェースでの校正が可能です。この広帯域ベクトルネットワークアナライザ構成は、ミリ波デバイスの特性評価および、マイクロ波からサブテラヘルツ周波数帯にわたるSパラメータ測定を目的としています。 
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広帯域250 GHz VNA特性評価ソリューションのブロック図

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