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產品特性
一般特性
- 線性光學元件最大速度：711 mm/s
- 參考頻率：2.4 至 3.0 MHz
- 重量：3.4 公斤
- 暖機時間：90 分鐘
雷射光束
- 直徑：6 mm；選項 003：3mm；選項 009：9 mm
- 最小輸出功率：180 µW；選項 H03：300 µW；選項 H05：240 µW；選項 H07：400 µW
- 最大輸出功率：1 mW
- 波束高度：79.5 ± 1.0 mm
輸入功率要求
- 3.0 A 時 +15 V ± 0.3 V（最大值）
- 0.3 A 時 -15 V ± 0.3 V（最大值）
Keysight 5517C 主要用於 VME 和 PC 的雷射干涉儀系統，以及運動速度更快的半導體微影製程和面板應用。 選項 009 提供 9 mm 的波束直徑，有更大的量測角度範圍，可與三軸干涉儀搭配使用。 如有客製化需求，請聯絡是德科技。
主要技術規格
應用
VME
PC
Keysight 5572A 系統
Keysight 5501A 系統
Beam height (mm)
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
696
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 180
Reference frequency (MHz)
2.4 to 3.0
速度
700 mm/s
應用
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
速度
VME
PC
Keysight 5572A 系統
Keysight 5501A 系統
79.5
696
> 180
2.4 to 3.0
700 mm/s
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應用:
VME
PC
Keysight 5572A 系統
Keysight 5501A 系統
Beam height (mm):
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
696
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 180
Reference frequency (MHz):
2.4 to 3.0
速度:
700 mm/s
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90
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