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產品特性

一般特性

  • 線性光學元件最大速度：711 mm/s
  • 參考頻率：2.4 至 3.0 MHz
  • 重量：3.4 公斤
  • 暖機時間：90 分鐘

雷射光束

  • 直徑：6 mm；選項 003：3mm；選項 009：9 mm
  • 最小輸出功率：180 µW；選項 H03：300 µW；選項 H05：240 µW；選項 H07：400 µW
  • 最大輸出功率：1 mW
  • 波束高度：79.5 ± 1.0 mm

輸入功率要求

  • 3.0 A 時 +15 V ± 0.3 V（最大值）
  • 0.3 A 時 -15 V ± 0.3 V（最大值）

Keysight 5517C 主要用於 VME 和 PC 的雷射干涉儀系統，以及運動速度更快的半導體微影製程和面板應用。 選項 009 提供 9 mm 的波束直徑，有更大的量測角度範圍，可與三軸干涉儀搭配使用。 如有客製化需求，請聯絡是德科技。

主要技術規格

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Applications
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
Beam height (mm)
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
696
Output power (higher power option available) (�W)
> 180
Reference frequency (MHz)
2.4 to 3.0
Velocity
700 mm/s
Applications
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output power (higher power option available) (�W)
Reference frequency (MHz)
Velocity
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
79.5
696
> 180
2.4 to 3.0
700 mm/s
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Applications:
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
Beam height (mm):
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
696
Output power (higher power option available) (�W):
> 180
Reference frequency (MHz):
2.4 to 3.0
Velocity:
700 mm/s
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90
5517C 系列雷射頭 Keysight

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5517C 雷射頭的精選資源

Technical Overviews 2017.12.01

Optics and Laser Heads for Laser-Interferometer Positioning Systems

This technical overview provides details on the laser heads, receivers, and optics used by all Keysight laser interferometer positioning systems. Lists specifications, physical characteristics, and a configuration guide. Add'l models:10715A, 10716A, 10719A, 10721A, 10735A, 10722A, 10723A,10780C, 10780F.

2017.12.01

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