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주요 특징
일반
- 선형 옵틱 최대 속도: 711 mm/s
- 레퍼런스 주파수: 2.4 ~ 3.0 MHz
- 무게: 3.4 kg(7.5 lb)
- 예열 시간 : 90분
레이저 빔
- 직경: 6 mm; 옵션 003: 3mm; 옵션 009: 9 mm
- 최소 출력 전력: 180 µW; 옵션 H03: 300 µW; 옵션 H05: 240 µW; 옵션 H07: 400 µW
- 최대 출력 전력: 1 mW
- 빔 높이: 79.5 ± 1.0 mm
입력 전력 요구 사항
- +15 V ± 0.3 V, 최대 3.0 A
- -15 V ± 0.3 V, 최대 0.3 A
키사이트 5517C는 주로 반도체 리소그래피 및 평판 분야와 같이 모션 속도가 더 빠른 VME 및 PC 기반 레이저 간섭계 시스템에 사용됩니다. 3-축 간섭계와 함께 사용할 경우 9 mm 빔 직경이 제공되므로 옵션 009는 더 큰 각도 측정을 지원합니다. 맞춤 요구 사항은 키사이트에 문의하십시오.
주요 사양
Applications
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
Beam height (mm)
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
696
Output power (higher power option available) (�W)
> 180
Reference frequency (MHz)
2.4 to 3.0
Velocity
700 mm/s
Applications
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output power (higher power option available) (�W)
Reference frequency (MHz)
Velocity
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
79.5
696
> 180
2.4 to 3.0
700 mm/s
더 보기
Applications:
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
Beam height (mm):
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
696
Output power (higher power option available) (�W):
> 180
Reference frequency (MHz):
2.4 to 3.0
Velocity:
700 mm/s
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90
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특집 리소스: 5517C 레이저 헤드
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