產品特性

  • 光束
    • 尺寸:6 mm
    • 間距:11 mm
  • 解析度
    • 基本光學:λ/2(316.5 nm,12.5 µin)
    • 系統解析度:
    - λ/64(10 nm,0.4 µin),以 32 倍電子解析度擴展為基礎
    - λ/512(1.2 nm,0.047 µin),以 256 倍電子解析度擴展為基礎
  • 重量:312 g
  • 所需的反射器:10767A
  • 使用的底座:10785A

Keysight 10766A 線性干涉儀適用於一般的單軸量測,也可用於干涉儀為運動元件(而非量測反射器)的應用。 配備堅固、耐熱的不銹鋼外罩。

在光學結構上與 10702A 選項 001 相同, 但是具有更堅固的外罩和公制螺紋。

10766A 需要一個 10767A 線性反射器作為參考反射器。 完整的線性量測光學套件需包含另一個 10767A 或更輕巧的 10703A(注意,55280B 線性測量套件包含所有必要的光學元件和安裝硬體)。 干涉儀可用於將波束轉向, 它無需經過任何調整和修改,即可作為運動元件。

進行差動操作時,需移除 10767A 線性反射器,然後將它連至指定的參考平面。

了解雷射干涉儀定位量測系統

主要技術規格

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