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產品特性
- 光束
• 尺寸：6 mm
• 間距：11 mm - 解析度
• 基本光學：λ/2（316.5 nm，12.5 µin）
• 系統解析度：
- λ/64（10 nm，0.4 µin），以 32 倍電子解析度擴展為基礎
- λ/512（1.2 nm，0.047 µin），以 256 倍電子解析度擴展為基礎 - 重量：312 g
- 所需的反射器：10767A
- 使用的底座：10785A
Keysight 10766A 線性干涉儀適用於一般的單軸量測，也可用於干涉儀為運動元件（而非量測反射器）的應用。 配備堅固、耐熱的不銹鋼外罩。
在光學結構上與 10702A 選項 001 相同， 但是具有更堅固的外罩和公制螺紋。
10766A 需要一個 10767A 線性反射器作為參考反射器。 完整的線性量測光學套件需包含另一個 10767A 或更輕巧的 10703A（注意，55280B 線性測量套件包含所有必要的光學元件和安裝硬體）。 干涉儀可用於將波束轉向， 它無需經過任何調整和修改，即可作為運動元件。
進行差動操作時，需移除 10767A 線性反射器，然後將它連至指定的參考平面。
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