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10766A 선형 간섭계
키사이트 10766A 선형 간섭계는 범용의 단일 축 측정에 사용됩니다.
주요 특징
- 빔
• 크기: 6 mm(0.24인치)
• 간격: 11 mm(0.43인치) - 분해능
• 기초 옵티컬 : λ/2 (316.5 nm, 12.5 µin)
• 시스템 분해능:
- λ/64(10 nm, 0.4 µin), 32x 전자 분해능 확장 기준
- λ/512(1.2 nm, 0.047 µin), 256x 전자 분해능 확장 기준 - 무게: 312 g(11온스)
- 필요한 반사기: 10767A
- 사용된 마운트: 10785A
키사이트 10766A 선형 간섭계는 범용의 단축 측정에 사용되며 간섭계가 측정 반사기가 아닌 움직이는 구성품일 때 채택할 수 있습니다. 튼튼하고 열적으로 안정된 스테인리스강 하우징이 특징입니다.
광학적으로는 10702A 옵션 001과 동일합니다. 하지만 10766A는 더 튼튼한 하우징과 미터 나사를 가지고 있습니다.
10766A를 사용하려면 기준 반사기로 하나의 10767A 선형 반사기가 필요합니다. 선형 측정 옵틱 세트를 완성하려면 두 번째 10767A 또는 더 작고, 더 가벼운 10703A가 필요합니다(55280B 선형 측정 키트에 필요한 모든 옵틱과 장착 하드웨어가 포함되어 있습니다). 간섭계를 사용하여 빔을 구부릴 수 있습니다. 수정 없는 이동하는 구성품일 수 있습니다.
차동 작동을 위해서는 10767A 선형 반사기를 제거한 후 대상 기준 표면에 부착해야 합니다.
레이저 간섭계 위치 측정 시스템에 대해 자세히 알아보십시오.
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