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10766A リニア・干渉計
Keysight 10766A リニア干渉計は、一般的な1軸測定に使用します。
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HIGHLIGHTS
YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 10766Aは、汎用の1軸測定のためのリニア・干渉計で、リフレクタではなく、可動コンポーネントとして使用できます。堅牢で温度安定度の高いステンレス・スチールの筐体を使用しています。
10766Aは光学的には10702Aオプション001と同じですが、より堅牢な筐体とメートル・ネジが使用されています。
10766Aには、基準リフレクタとして1個の10767Aリニア・リフレクタが含まれています。リニア測定セットを構成するには、10703Aが必要です。この干渉計はビームを曲げるために使用できません。そのまま可動コンポーネントとしての使用が可能です。
差動測定には、10767Aリニア反射鏡を取り外し、必要な基準面に取り付けます。
- 概要: 干渉計、直線、1軸、6mmビーム
- 測定: リニア
- 軸数: 1
- ビーム径: 6mm
- 使用目的: 汎用
- アプリケーション: 1軸
- 安定度: 中位
- 光分解能: λ/2 (316.5nm)
- システム分解能 (32x): λ/64 (10nm) (5527Bレーザー位置決めシステム、10885A PCアクシス・ボード/10895A VMEbusレーザー・アクシス・ボードとの併用時)
- システム分解能 (256x): λ/512 (1.2nm) (10897B/10897C/10898A VMEbusレーザー・アクシス・ボードとの併用時)
- ビーム分離: 11mm
- 質量: 312g
- 種別: 非プレーン・ミラー
- 推奨リフレクタ: 10767A
- 使用マウント: 10785A
- ビーム屈曲: 不可
- 干渉計の移動: 可
- 関連製品: 10702Aオプション001
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