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產品特性
Keysight 10706B 高穩度平面鏡干涉儀是一款雙通道干涉儀，適用於多軸應用，例如 XY 載物台，在這些應用中，量測反射鏡可能會垂直於量測軸移動。 這款熱穩定的光學元件可取代 10706A 平面鏡干涉儀，可將熱量測漂移值降低至傳統平面鏡干涉儀典型值的 1/12。 對於平面鏡反射器角度錯準的容差度，是 10706B 獨特之處。 10706A 可接受各種量測反射鏡角度對準度的變化。
10706B 包含一個用於參考的 10723A 高穩度轉接器（包含一個高反射器和一個 1/4 波片）、一個用於操縱光束路徑的復歸反射器，以及一個 1/4 波片。 對於 XY 載物台應用，使用者必須提供反射鏡。 適用於單軸應用，可以使用 10724A 平面鏡反射器。
Keysight 10706B 可用來彎曲光束，方法是互換參考的 10723A 高穩度轉接器和 1/4 波片，並為 10723A 增加新的安裝和調整硬體（10706B 隨附的硬體）。 10706B 不能當作移動元件使用。
10706B 不能用於差動操作。
Keysight 10706B 的功能與 Keysight 10706A 相當，但具有更出色的熱穩定度。
- 應用：平面鏡
- 獨特之處：高穩定度
- 軸數：1
- 最大波束尺寸：6 mm
- 波束間隔：12.7 mm
- 重量：323 g
- 基本光學解析度：λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
- 系統解析度：λ/128（5 nm，0.2 µin），基於使用 32 倍電子解析度擴展
- 系統解析度：λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），基於使用 256 倍電子解析度擴展模組
- 反射器：10724A 或使用者提供
- 使用的底座：10711A
- 參考：無
- 改變波束配置：有，透過互換零件
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