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キーサイトの10706B 高安定プレーンミラー干渉計は、X-Yステージなどの複数軸のアプリケーションに使用されるデュアルパス干渉計ですあり、測定ミラーは測定軸に対して垂直に動きます。 10706Aプレーンミラー干渉計と同じ機能を提供するこの熱安定光学部品は、通常のプレーンミラー干渉計の熱測定ドリフトを1/12に削減します。 10706B独自の貢献は、プレーンミラー反射鏡の角度ミスアライメントの許容範囲です。 10706Aは様々な測定ミラー角度アラインメントの変更に対処できます。

10706Bには、参照のための10723A高安定アダプター(高反射鏡および1/4波長プレート)x1,ビーム経路の操作のための反射鏡x1、および1/4波長プレートx1が含まれます。 X-Yステージアプリケーションの場合、ユーザーはミラーを提供しなければなりません。 単軸アプリケーションの場合、10724Aプレーンミラー反射鏡を使用することができます。

参照高安定アダプターおよび1/4波長プレートと交換して新しいマウントおよび調節ハードウェア(10706Bに含まれるハードウェア)を10723Aに追加することで、10723Aビームのベンドに10706Bを使用することができます。 10706Bは動くコンポーネントに使用することができません。

10706Bは異なる操作に使用することができません。

10706Bの機能は10706Aと同等ですが、熱安定が優れています。

  • アプリケーション:プレーンミラー
  • 特徴的な機能:高い安定性
  • 軸の数:1
  • 最大ビームサイズ:6mm
  • ビーム分離:12.7mm (0.5インチ)
  • 重量:323g (11.4オンス)
  • 基本光学分解能:λ/4 (158.2 nm, 6.2 µin)
  • システム分解能:λ/128 (5 nm, 0.2 µin)、32x電子分解能エクステンションの使用に基づく
  • システム分解能:λ/1024 (0.62 nm, 0.024 µin)、256x電子分解能エクステンションの使用に基づく
  • 反射鏡:10724Aまたはユーザー指定
  • 使用するマウント:10711A
  • 参照:なし
  • 展開設定:あり、パーツ交換により

レーザー干渉計位置測定システムの詳細

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10706B High Stability Plane Mirror Interferometer

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