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5517C レーザーヘッド
Keysight 5517Cは主に、半導体リソグラフィやフラットパネルアプリケーションなど動作速度が速いVME/PCベースシステム、またはKeysight 5501A/5527Aシステムで使用されます。
スタート価格:
主な特長
一般仕様
- リニア光学系での最高速度：711 mm/s
- 基準周波数：2.4～3.0 MHz
- 質量：3.4 kg
- ウォームアップ時間：90分
レーザービーム
- 直径：標準で6 mm、オプション003で3 mm、オプション009で9 mm
- 最小出力パワー：180 µW；オプションH03：300 µW；オプションH05：240 µW；オプションH07：400 µW
- 最大出力パワー：1 mW
- ビームの高さ：79.5 ± 1.0 mm
入力パワー要件
- 最大3.0 A で＋15 V ±0.3 V
- 最大0.3 A で－15 V ±0.3 V
Keysight 5517Cの主な用途は、半導体リソグラフィやフラットパネルアプリケーションなど、動作速度が速いVMEおよびPCベースのレーザー干渉計システムです。 オプション009では、3軸干渉計用にビーム径を9 mmにすることで、より広い角度範囲を測定できるようになります。 カスタム要件については、キーサイトまでお問い合わせください。
主な仕様
アプリケーション
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
Beam height (mm)
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
696
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 180
Reference frequency (MHz)
2.4 to 3.0
速度
700 mm/s
アプリケーション
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
速度
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
79.5
696
> 180
2.4 to 3.0
700 mm/s
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アプリケーション:
VME
PC
Keysight 5572A system
Keysight 5501A system
Beam height (mm):
79.5
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
696
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 180
Reference frequency (MHz):
2.4 to 3.0
速度:
700 mm/s
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90
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