如何執行同步場效應電晶體（FET）測量

+ 旗艦桌上型源量測單元

同步閘極與汲極量測

同步場效電晶體（FET）量測使用兩個協調的源極量測單元通道來控制 FET 閘極與汲極處的電氣條件，同時在對應的電壓點取得電流量測值。針對典型的 FET Id-Vg 量測，一個通道分配給閘極，第二個通道分配給汲極。閘極通道供應電壓掃描同時量測電流，而汲極通道建立所需的汲極電壓同時量測汲極電流。兩個通道協同運作，以便在協調的閘極與汲極條件下取得量測值。在所展示的配置中，通道 1 連接到 FET 閘極並配置為電壓源，閘極電流合規性極限為 1 µA。其電壓使用 101 個點從 0 V 線性掃描至 2 V，產生 20 mV 的電壓增量。通道 2 連接到汲極並配置為在相同的 101 個量測點上維持 2 V，其電流合規性設定為 100 mA。高強迫（High Force）與低強迫（Low Force）連接點提供了兩個量測通道與待測元件之間的電氣路徑。產生的 FET IV 特性分析會記錄隨著閘極電壓改變的汲極電流響應，允許將閘極電壓對汲極電流繪製成轉移特性。因此，此量測可以協調電壓源供應與電流擷取，而不需要獨立編程的電壓源與電流錶。

同步也可以透過兩個量測通道的觸發參數來控制。所展示的電晶體特性分析程序最初使用自動觸發模式，然後顯示如何將兩個通道配置為同步觸發。針對同步配置，通道 1 和通道 2 的觸發類型變更為 SYNC。源極觸發計數與量測觸發計數各配置為 101，對應於量測中使用的 101 個掃描點。應用指南指定源極與量測觸發計數應等於掃描點數。接著對兩個通道套用 100 ms 的量測觸發延遲，展示了如何相對於每個量測點控制擷取時序。量測速度與範圍也可以作為同步量測設定的一部分進行調整。記錄的程序顯示了 NORMAL 量測速度（相當於一個電源線週期的孔徑時間），以及自動電流範圍操作和使用 10 nA 最小電流量測範圍的範例。在配置兩個通道之後，兩個輸出繼電器皆會啟用並觸發同步掃描。產生的 FET Id-Vg 量測結果可以直接顯示在圖形檢視（Graph View）中，其中 X 軸選擇閘極電壓，所量測的汲極電流形成轉移特性。可以選擇線性或對數 Y 軸縮放比例來檢視不同的電流區域，同時也可以透過量測結果清單檢閱個別的 FET IV 特性分析量測點。

同步場效應電晶體（FET）量測解決方案

執行同步 FET 量測需要兩個協調的電壓源與電流量測通道，能夠在套用閘極與汲極條件的同時在對應點取得量測值。Keysight 雙通道精密源極量測單元（SMU）提供兩個具有獨立 IV 量測功能的通道，並能夠供應固定或掃描電壓與電流，從而能夠從單一儀器控制三端子 FET 的閘極與汲極。針對同步 FET 量測，通道 1 可以套用閘極電壓掃描，而通道 2 維持汲極偏壓。獨立的合規性設定限制每個通道上的輸出，而同步觸發設定則協調源極供應與量測。所展示的 FET Id-Vg 量測在每個通道上使用 101 個量測點，並展示如何配置具有相等源極與量測觸發計數以及 100 ms 量測觸發延遲的 SYNC 觸發。量測速度與電流範圍運作也可以進行配置，以符合所需的電晶體特性分析條件。前面板圖形化使用者介面支援完整的 FET IV 特性分析工作流程，無需測試程式。單一檢視（Single View）允許獨立配置每個通道的源極與量測條件，而圖形檢視（Graph View）則顯示產生的 IV 曲線。量測結果也可以作為資料清單進行檢查。應用指南另外記錄了 PathWave BenchVue、PathWave IV Curve 軟體和 EasyEXPERT group+ 作為 PC 型量測工作流程的軟體控制選項。

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