W8510EP IC-CAP Wafer Professional 量測軟體（WaferPro）

• 可在各種不同溫度下，執行全自動單晶圓與多晶圓量測
• 為最常用的探針台、切換矩陣和熱控卡盤提供驅動程式
• 完整的晶圓映射支援
• 支援以 407X 和 408X Keysight 參數測試系統進行快速量測
• 包含許多預設範例的測試計劃，可幫助使用者輕鬆、有效率地開始測試
• 無須操作人員監控，晶圓會隨溫度變化自動進行調整
• 無需中斷測試即可檢視即時結果、狀態、資料和圖表
• 在執行期間監視節點、狀態、結果和資料；透過 Email 接收更新
• 根據使用者定義的通過／不通過標準，和緩地處理例外情形
• 先進的架構可支援有效率的資料組織和快速的資料分析及處理
• 可以在不同的測試台上使用不同的硬體，順利執行測試計劃
• 支援各種的 DC/CV 及射頻量測
• 支援量測任何 n 端元件（MOS、DIODE、被動元件等等）
• 量測資料可儲存成多種檔案格式（.mdm 和 .csv）
• 具備試模式（用來執行模擬而非量測）和後處理模式，可提高測試和開發的靈活性
• 具備功能強大的除錯模式，可進一步支援輕鬆的客製化與測試工作

IC-CAP Wafer Professional 量測軟體（WaferPro）是統包式自動量測應用軟體，可完全整合入 IC-CAP 平台中，是需要進行 DC/CV 及射頻量測的元件建模工程師的首選工具。WaferPro 由是德科技和業界半導體大廠共同合作設計的。它充分利用 IC-CAP 強大的量測和程控環境，支援有效率的量測程式庫（內建與使用者定義），例如自調適量測演算法，以大幅縮短整體量測時間，進而提高效率。它的操作極簡易，只需一天時間就能完成設定並開始運作。不僅如此，它具備高度客製性與靈活性，可適應各種測試和量測環境並進行最佳化。

IC-CAP WaferPro 量測解決方案結合了 IC-CAP 及其他測試設備，可有效率地協調整個測試環境、控制並指定晶圓映射、元件、測試條件、校驗和想要收集的資料。它可自動儲存資料檔案，並且支援各種不同的檔案格式。

WaferPro 很容易進行導覽及客製。針對典型的測試計劃專案，使用者可以先定義一個晶圓映射，接著指定晶圓特性，例如晶粒和基板位置、欲量測的元件類型與特性，以及根據所使用的硬體類型指定的針腳或探針卡參考。接著使用者可以立即依照其測試需求和目標，根據量測類型，例如逐點、掃描、DC、射頻等等，將不同元件進行分組和區分。

使用者可在 IC-CAP 模型環境中，客製並定義量測，並有效利用既有的 PEL 編碼對量測結果進行後處理（例如計算 fT、gmax 或 Vt）。在執行測試計劃時，螢幕將顯示記錄視窗，視窗內容將持續更新，以呈現最新的量測結果。您可輕鬆地在歷史記錄中選擇任一行，以查看特定元件的量測資料。

總結 IC-CAP WaferPro 的特性：

• 功能強大的量測及特性分析測試計劃套件，可滿足元件建模工程師需求
• 可與許多工作台及測試台搭配使用，包括是德科技參數測試儀
• 支援所需的客製層度，全面提升量測效率
• 為先進的統計分析與建模奠定基礎

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