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HIGHLIGHTS
- 一定の温度範囲で1つ以上のウェーハの自動測定が可能
- 一般的なプローバ、スイッチ・マトリクス、サーマル制御チャック用ドライバが付属
- ウェーハ・マップのサポート
- 407X/408X Keysightパラメトリック・テスト・システムによる高速測定
- 付属の多数の定義済みサンプル・テスト・プランにより、容易で効率的な立ち上げを実現
- オペレータによる監視が不要で、温度が変化した時にウェーハを自動的に再調整可能
- テストを中断することなく、結果、ステータス、データ、プロットのリアルタイム表示が可能
- 位置、ステータス、結果、データを実行中にモニタでき、更新をメールで受信可能
- ユーザ定義された合否判定基準に基づいて、高度な例外処理が可能
- 高度なアーキテクチャによる、効率的なデータ構成および高速データ解析／処理
- 異なるハードウェアを使用したさまざまなテスト・ステーションで、テスト・プランをシームレスに実行可能
- 幅広いDC/CVおよびRF測定のサポート
- n端子デバイス（MOS、DIODE、パッシブなど）測定のサポート
- .mdmおよび.csvファイル・フォーマットでの保存
- テスト・モード（測定ではなくシミュレーションを実行）とポスト・プロセス・モードによる、柔軟なテストと開発の実現
- カスタマイズとテストが容易な、強力なデバッグ・モード
IC-CAPウェーハ・プロフェッショナル測定（WaferPro） は、デバイス・モデリング・エンジニアのためのターンキー自動測定アプリケーションで、DC/CV測定やRF測定がIC-CAPプラットフォームに統合されています。WaferProは、大手半導メーカとの提携により、開発されました。 IC-CAPの優れた測定／プログラミング環境を活用し、アダプティブ測定アルゴリズムなどの効率的な測定ルーチン（内蔵またはユーザ定義）のライブラリが使用でき、測定時間の大幅な削減と効率の向上を実現しています。1日で機能させることが可能なほどシンプルな上、カスタマイズ可能で柔軟性も備え、さまざまなテスト／測定環境に合わせて最適化することができます。
IC-CAP WaferProは、IC-CAPと他のテスト機器を統合した測定ソリューションで、ウェーハ・マッピング、デバイス、テスト条件、校正、収集データを制御／指定する機能により、完全なテスト環境の効率的な協調を実現します。データ・ファイルは自動的に保存され、さまざまなファイル・フォーマットがサポートされています。
WaferProでは、操作やカスタマイズを容易に行うことができます。代表的なテスト・プラン・プロジェクトでは、最初にウェーハ・マップを定義した後、ダイ／サブストレートの位置などのウェーハの特性、測定対象デバイスのタイプや特性、そして使用するハードウェアのタイプごとにピンやプローブ・カードのリファレンスを指定します。テストのニーズや目的ごとに、どのタイプの測定（スポット、掃引、DC、RFなど）を実行すべきかに基づいて、デバイスをグループ化／識別することができます。
測定ルーチンをIC-CAPモデル環境でカスタマイズ／定義でき、測定結果のポスト・プロセッシング（例えば、fT、gmax、Vtの計算）に既存のPELコードを利用することができます。テスト・プランの実行中、ログが表示されますが、測定結果は連続的に更新されます。また、履歴ログを選択して特定のデバイスの測定済みデータを簡単に表示できます。
IC-CAP WaferProのまとめ：
- デバイス・モデリング・エンジニア向けの優れた測定／評価テスト・プラン・スイートを提供します。
- さまざまなベンチやテスト・ステーション（Keysightのパラメトリック・テスタを含む）と組み合わせて容易に使用できます。
- 測定効率を最大化するための必要なカスタマイズ・レベルを備えています。
- 高度な統計解析／モデリングを行うためのベースを構築できます。