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產品特性
最大範圍
- 長達 15 公尺
準確度
- 顯示數值的 ±0.2%
解析度（以每英呎步進 ）
- 0.002 μm
- 0.003 μm
- 0.005 μm
參考平面準確度
平板平坦度量測的不確定性，和以下兩個平行平面數值有關：
- 公制單位模式：0.03 M2 µm，其中 M = 表面對角線長度，單位為公尺
- 英制單位模式：0.12 F2 µin，其中 F = 表面對角線長度，單位為英呎
如結合使用 55282A 平坦度配件套件和 55281A 角度光學套件，5530 雷射校驗系統可執行平坦度和直度量測。
55282A 平坦度配件套件由一個 10759A 底座支撐套件和兩個 10773A 平坦反射鏡組成。 底座支撐套件提供三種精密底板，墊片間距分別為 50.8 mm、101.6 mm 和 152.4 mm，可有效減少平板校驗所需的格線設定和資料累積時間。 平坦度反射鏡可提供 100% 的反射率，可將入射雷射光束轉 90 度。
55282A 平坦度配件套件是一系列量測光學元件的一員，讓您能客製干涉儀系統，以因應各個不同應用的實體布局和量測要求。 如配置合適的雷射頭和系統電子元件，這些光學元件可協助您建構精準的定位或校驗系統，以提高產品品質、增加產能，進而加速製造精密的產品。
- 此反射鏡安裝於旋轉固定底盤上，方便您輕鬆地進行平板校驗
- 相較於常見的自動準直儀與水平儀，它可實現更快的量測與分析，以及更好的準確度和可重測性
- 平板表面沒有任何產熱物體
- 可用於各種是德科技系統，包括 5530 雷射校驗系統
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