HIGHLIGHTS

最大範圍

  • 最高達 15 公尺(50 英呎)

準確度

  • 顯示數值的 ±0.2%

解析度(每英呎步進 )

  • 0.002 微米(2 英吋)
  • 0.003 微米(4 英吋)
  • 0.005 微米(6 英吋)

參考平面準確度

  • 底盤表面平坦度量測的不確定性和以下兩個數值的平行平面有關:

         ─ 公制單位模式:0.03 M2µm,M = 表面對角線長度(公尺)

         ─ 英制單位模式:0.12 F2µin,F = 表面對角線長度(英呎)
 

Keysight 55282A 平坦度配件套件搭配 55281A 角度光學套件使用時,能夠讓 5530 雷射校驗系統執行平坦度和垂直度量測。

55282A 平坦度配件套件是由一個 10759A 支撐底座套件和兩個 10773A 平坦反射鏡組成。支撐底座套件提供三個精密的底盤,襯墊間距分別為 50.8 公釐(2 英吋)、101.6 公釐(4 英吋)和 152.4 公釐(6 英吋),能夠將底盤校驗所需的柵極設定和資料累積時間降到最低。平坦反射鏡可提供百分之百的反射係數並將進入的雷射波束轉向 90 度。

55282A 平坦度配件套件是量測光學系列的一項元件,可針對每項應用的實體佈局和量測要求,修改干擾儀系統。以合適的雷射頭和系統電子元件進行配置時,精密定位或校驗系統的光學測試是其中一部份,它能夠改善產品品質、提高產量並有助製造出精確的產品。

  • 以旋轉固定底盤安裝的反射鏡,更輕鬆地進行底盤表面校驗
  • 相較常見的自動準直儀與水平儀更快的量測和分析、更好的準確度和可重複性
  • 底盤表面沒有任何產熱物體
  • 可用在多種是德科技系統,包括 5530 雷射校驗系統

KEY SPECIFICATIONS

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