Keysight 55280A 線性量測套件可與 Keysight 5530 雷射校驗系統搭配使用,包含量測線性距離(位移)和速度所需的光學設備。

產品特性

Keysight 55280A 線性量測套件可與 Keysight 5530 雷射校驗系統搭配使用,包含量測線性距離(位移)和速度所需的光學設備。 此套件包含一個 Keysight 10766A 線性干涉儀、兩個 Keysight 10767A 線性復歸反射器、硬體基座和硬質攜帶箱。

此系統可量測干涉儀和復歸反射器之間的距離變化。 在移動之前,任何一點都可定義為量測起始點。

Keysight 55280A 可用於校驗數控機床和坐標量測機的定位準確度。 它具備極高的準確度和解析度,可當作校驗長度標準的業界既定標準。

量測範圍

  • 使用線性光學元件時長達 40 公尺
  • 長距離選項可達 80 公尺

準確度

  • 溫度範圍:0 - 40ºC
  • E1738A 空氣感測器:±0.4 ppm
  • 真空中:±0.1(±0.02)ppm

如果根據 MIL-STD 45662A 標準校驗 5519A/B 雷射頭,則真空準確度為 ±0.02 ppm

解析度

  • 線性光學元件(10766A):1 nm(0.04 µin)
  • 平面鏡光學元件(10706A/B)*:0.5 nm(0.02 µin)
  • 高解析度平面鏡光學元件(10716A)*‡:0.25 nm(0.01 µin)

* 需搭配使用 10724A 平面鏡反射器。 這些光學元件的對準度比線性光學元件更靈敏,因此建議將線性光學元件用於一般用途。
‡ 10716A 的孔徑距離為 12.7 mm,而 5519A 為 11 mm。

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