產品特性

一般特性

  • 最大線性光學速率:1.2 m/s
  • 參考頻率:>= 4.4 MHz;選項 300:提供 5 MHz 頻率
  • 重量:3.2 公斤
  • 暖機時間:45 分鐘(風扇和排氣裝置連接到通風蓋板時)

雷射光束

  • 直徑:6 mm;選項 009:提供 9 mm 直徑
  • 最小輸出功率:180 µW(3 年後為 120 µW);選項 300:80 µW(3 年後為 50 µW)
  • 最大輸出功率:1 mW;選項 300:220 µW
  • 光束高度:80.8 ± 1.0 mm

輸入功率要求

  • 3.0 A 時 +15 V ± 0.3 V(最大值)
  • 0.3 A 時 -15 V ± 0.3 V(最大值)

Keysight 5517DL 主要用於基於 VME 和 PC 的雷射干涉儀系統,這些系統的運動速度非常快,例如半導體微影製程和平板應用。 如有客製化需求,請聯絡是德科技。

獲得有關雷射干涉儀定位量測系統的詳細資訊

主要技術規格

Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 180
Reference frequency (MHz)
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
1329**
> 180
>= 4.4
90 (*45)
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Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 180
Reference frequency (MHz):
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)

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