產品特性

一般規格

  • 每塊電路板的軸數:2
  • 每個系統的最大電路板數量:7(更多的電路板,請諮詢是德科技)
  • 36 位元二進制補償
  • 支援高解析度光學,解析度可達 0.3 nm
  • 最大線性干涉儀速度(必須使用 E1709A 接收器):2.2 m/s

使用平面鏡射光學元件進行操作

  • 解析度:0.6 nm
  • 工作範圍: ± 10.6 m

時序

  • 位置更新率:10 MHz
  • 背板資料速率:> 100 kHz
  • 多板同步:± 2 ns

特殊功能

  • 靈活的硬體 IO
  • 可透過簡易可編程的方式路由多軸系統的 Ref 和 Meas 信號
  • 在一個 6U 板上有兩個增強型 10897D 軸

Keysight 10898D 2 軸高解析度雷射軸板提供與 Keysight 10897D 高解析度雷射軸板相同的解析度,並且具有更高的轉換率和更低的雜訊。 相較於先前的雷射系統,其更高的載物台速度限制及更低的雜訊,為 IC 製造設備等先進應用提供出色的定位可重測性和準確度。

主要技術規格

Bus
VME
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz)
10000
Max Data rate over bus (kHz)
100
Number of Axes per board
2
Plane Mirror (PM) Resolution (nm)
0.6
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability
± 1100*
Bus
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz)
Max Data rate over bus (kHz)
Number of Axes per board
Plane Mirror (PM) Resolution (nm)
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability
VME
10000
100
2
0.6
± 1100*
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Bus:
VME
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz):
10000
Max Data rate over bus (kHz):
100
Number of Axes per board:
2
Plane Mirror (PM) Resolution (nm):
0.6
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability:
± 1100*

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