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產品特性
Keysight 10719A 單軸差動干涉儀可進行差動線性或差動角度量測，以支援單軸和多軸量測應用。 線性量測可量測兩個物體之間的位移，例如載物台與光學柱或檢測工具。 10719A 也可量測俯仰或翻滾。 當參考光束和量測光束量測同一個鏡子時，就可以量測到一個角度。 Keysight 10721A 對熱膨脹等不必要的干涉儀位移具有很高的抗干擾能力。 它採用模組化的小型設計，搭配單片式光學元件，可將機械穩定性最大化。 其使用的 3 mm 小波束有助於降低 Abbé 偏移誤差。
Keysight 10719A 包含一個剪切片（可產生平行的波束路徑）、兩個反向反射器（用於操控波束路徑），以及兩個 1/4 波片。
如欲進行線性量測，使用者必須同時提供參考反射鏡和量測反射鏡。
對於角位移，使用者必須提供一個反射鏡來反射參考和量測光束。
有關雙軸差動量測的詳細資訊，請參閱 10721A。
- 應用：一次差動線性或一次角度量測
- 獨特之處：差動
- 軸數：1
- 最大波束尺寸：3 mm
- 波束間隔：19.05 mm
- 重量：300 g
- 基本光學解析度：λ/4（158.2 nm，6.2 µin），1.71 arcsec（8.3 µrad）
- 系統解析度：λ/128（5 nm，0.2 µin），0.054 arcsec（0.26 µrad），基於使用 32 倍電子解析度擴展
- 系統解析度：λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），0.007 arcsec（0.03 µrad），基於使用 256 倍電子解析度擴展
- 反射器：客製
- 使用的底座：客製
- 提供參考：有
- 改變波束配置：無
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