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產品特性
Keysight 10716A 高解析度干涉儀，適用於單軸和多軸應用，例如精密的 XY 載物台。 Keysight 10716A 的解析度是傳統平面鏡干涉儀的兩倍，且具出色熱穩定度（與 10706B 高穩定度平面鏡干涉儀相同）。 量測漂移值通常是傳統平面鏡干涉儀的 ½， 這些特性可進一步提高準確度、可重測性和熱穩定度。 但是，轉換率會減半。
10716A 包含一個用於參考的 10723A 高穩度轉接器（包含一個高反射器和一個 1/4 波片）、兩個用於操縱光束路徑的復歸反射器、一個光束轉折鏡，以及一個 1/4 波片。 使用者必須提供量測反射鏡，例如 10724A 平面鏡反射器。
10716A 選項 001 可用於需要干涉儀來改變波束的光學布局。
- 應用：平面鏡、高解析度
- 獨特之處：高解析度
- 軸數：1
- 最大波束尺寸：6 mm
- 波束間隔：12.7 mm
- 重量：502 g
- 基本光學解析度：λ/8（79.1 nm，3.1 µin）
- 系統解析度：λ/256（2.5 nm，0.1 µin），基於使用 32 倍電子解析度擴展
- 系統解析度：λ/2048（0.31 nm，0.012 µin），基於使用 256 倍電子解析度擴展
- 反射器：10724A 或使用者提供
- 使用的底座：10711A
- 參考：無
- 改變波束配置：有。 需要選項 001
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