Como melhorar a precisão da CV no wafer
Melhorar a precisão da CV no wafer
As medições de capacitância-tensão no wafer exigem um gerenciamento cuidadoso das conexões das sondas, da impedância dos cabos e dos efeitos do mandril do wafer para obter características repetíveis dos dispositivos. A configuração combina medições de capacitância e de corrente-tensão, mantendo um roteamento estável do sinal e minimizando os efeitos parasíticos.
Medições precisas dependem da compensação de carga em circuito aberto, curta e opcional, juntamente com a frequência de teste, o nível de sinal, o tempo de integração e o comprimento do cabo otimizados. O traçado adequado dos terminais inferiores e a implementação correta do caminho de retorno reduzem o vazamento, o ruído e os erros residuais durante a caracterização de dispositivos semicondutores.
Solução para precisão de CV no wafer
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Analisador de parâmetros de dispositivos semicondutores B1500A / Mainframe do sistema de caracterização de semicondutores
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