Come migliorare la precisione della CV su wafer

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Migliorare la precisione della CV su wafer

Le misurazioni di capacità e tensione sul wafer richiedono un’attenta gestione dei collegamenti delle sonde, dell’impedenza dei cavi e degli effetti del mandrino del wafer per ottenere caratteristiche ripetibili dei dispositivi. La configurazione combina misurazioni di capacità e di corrente-tensione, mantenendo un instradamento stabile del segnale e riducendo al minimo gli effetti parassiti.

L'accuratezza delle misurazioni dipende dalla compensazione del carico aperta, breve e opzionale, unitamente alla frequenza di prova, al livello del segnale, al tempo di integrazione e alla lunghezza del cavo ottimizzati. Un corretto instradamento dei terminali inferiori e una corretta implementazione del percorso di ritorno riducono le dispersioni, il rumore e gli errori residui durante la caratterizzazione dei dispositivi a semiconduttori.

Soluzione per la precisione della misurazione della tensione di polarizzazione (CV) sul wafer

Una caratterizzazione accurata delle curve CV e IV richiede connessioni a quattro terminali stabili, un percorso di ritorno della corrente controllato e la compensazione dell’impedenza residua del cavo e dell’ammittanza parassita. L’analizzatore di dispositivi a semiconduttori Keysight combina funzionalità di sorgente/misura e di misurazione della capacità in un’unica piattaforma, con commutazione automatica tra i percorsi CV e IV, supporto per configurazioni schermate a due terminali e compensazione di circuito aperto/cortocircuito/carico per una maggiore precisione di misura. La sua configurazione grafica dell’applicazione semplifica l’inserimento dei parametri e la visualizzazione dei risultati, mentre l’intervallo di misurazione della capacità da 1 kHz a 5 MHz supporta un’ampia varietà di flussi di lavoro per la caratterizzazione di dispositivi e materiali.
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