Cómo mejorar la precisión de la CV sobre la oblea

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Mejorar la precisión de la respuesta de corriente-voltaje (CV) en la oblea

Las mediciones de capacitancia-tensión sobre la oblea requieren un control minucioso de las conexiones de las sondas, la impedancia de los cables y los efectos del portaoobleas para obtener características repetibles de los dispositivos. La configuración combina mediciones de capacitancia y de corriente-tensión, al tiempo que mantiene un enrutamiento estable de la señal y minimiza los efectos parásitos.

La precisión de las mediciones depende de una compensación de carga abierta, corta y opcional, junto con una frecuencia de prueba, un nivel de señal, un tiempo de integración y una longitud de cable optimizados. Un tendido adecuado de los terminales inferiores y una correcta implementación de la vía de retorno reducen las fugas, el ruido y los errores residuales durante la caracterización de dispositivos semiconductores.

Solución para la precisión de la curva de caracterización (CV) en oblea

Una caracterización precisa de CV e IV requiere conexiones estables de cuatro terminales, una ruta de retorno de corriente controlada y la compensación de la impedancia residual del cable y la admitancia parásita. El analizador de dispositivos semiconductores de Keysight combina capacidades de fuente/medida y de medición de capacitancia en una única plataforma, con conmutación automática entre las rutas CV e IV, compatibilidad con configuraciones blindadas de dos terminales y compensación de circuito abierto, cortocircuito y carga para mejorar la precisión de la medición. Su configuración gráfica de la aplicación simplifica la introducción de parámetros y la visualización de resultados, mientras que el rango de medición de capacitancia de 1 kHz a 5 MHz es compatible con una amplia variedad de flujos de trabajo de caracterización de dispositivos y materiales.
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