Comment améliorer la précision de la CV sur plaquette

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Améliorer la précision de la courbe de réponse en tension (CV) sur la plaquette

Les mesures de capacité-tension sur plaquette nécessitent une gestion rigoureuse des connexions des sondes, de l'impédance des câbles et des effets liés au mandrin de la plaquette afin d'obtenir des caractéristiques de dispositif reproductibles. Le montage combine des mesures de capacité et de courant-tension tout en garantissant un acheminement stable du signal et en minimisant les effets parasites.

La précision des mesures dépend d'une compensation de charge ouverte, courte et facultative, ainsi que d'une fréquence d'essai, d'un niveau de signal, d'un temps d'intégration et d'une longueur de câble optimisés. Un acheminement adéquat des bornes basses et une mise en œuvre correcte du chemin de retour permettent de réduire les fuites, le bruit et les erreurs résiduelles lors de la caractérisation des dispositifs semi-conducteurs.

Solution d'assurance qualité sur plaquette

Une caractérisation précise des courbes CV et IV nécessite des connexions à quatre bornes stables, un chemin de retour de courant contrôlé, ainsi qu’une compensation de l’impédance résiduelle du câble et de l’admittance parasite. L'analyseur de dispositifs semi-conducteurs Keysight combine des capacités de source/mesure et de mesure de capacité au sein d'une seule et même plateforme. Il offre une commutation automatisée entre les voies CV et IV, la prise en charge des configurations à deux bornes blindées, ainsi qu'une compensation des effets d'ouverture, de court-circuit et de charge pour une précision de mesure améliorée. Son interface graphique simplifie la saisie des paramètres et l'affichage des résultats, tandis que la plage de mesure de capacité de 1 kHz à 5 MHz prend en charge une grande variété de workflows de caractérisation des dispositifs et des matériaux.

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Schéma fonctionnel illustrant comment améliorer la précision de la CV sur plaquette

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