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產品特性
一般特性
- 使用線性光學元件時的最大速度：711 m/s
- 參考頻率：2.4 至 3.0 MHz
- 重量：3.2 kg
- 暖機時間：45 分鐘（風扇和排氣裝置連接到通風蓋時）
雷射光束
- 直徑：6 mm；選項 003：3 mm，選項 009：9 mm
- 最小輸出功率：180 µW
- 輸出功率：1 mW
- 光束高度：80.8 ± 1.0 mm
輸入功率要求
- 2.2 A 時 +15 V ± 0.3 V（最大值）
- 0.03 A 時 -15 V ± 0.3 V（最大值）
Keysight 5517CL 主要用於基於 VME 和 PC 的雷射干涉儀系統，這些系統的運動速度更快，例如半導體微影製程和平板顯示器應用。 選項 009 提供 9 mm 的波束直徑，具有更大的量測角度範圍，可與三軸干涉儀搭配使用。 如有客製化需求，請聯絡是德科技。
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