產品特性

Keysight 10774A 短程直線度光學元件結合直線度干涉儀和反射鏡,讓您能在 3 公尺的範圍內進行量測。 此光學儀器構成一個高準確度的光學尺規,可量測機床行程和量測機坐標運動的直線度,解析度達 0.04 µm(1 吋)。

藉由將 Keysight 10774A 短程直線度解決方案與 Keysight 5530 雷射校驗系統搭配使用,您可客製干涉儀系統,以便滿足各種應用的實體布局和量測需求。  

  • 直線度量測準確度
  • 整體準確度 = 光學參考準確度 + 量測準確度。
  • 類似於使用傳統直尺與指示器量測直線度的方法,光學參考準確度相當於直尺準確度,而量測準確度則相當於指示器準確度。
  • 光學參考準確度
  • 利用直尺(反射鏡)反轉技術,可消除光學參考不準確度。
  • 公制單位模式:0.15 M2 µm
  • 英制單位模式:0.5 F2 µin
  • 量測準確度
  • 溫度範圍顯示值:0 µm 至 10 µm,10 至 1,500 µm
  • 0 µm 至 400 µm,400 至 60,000 µm
  • 15° C 至 25 °C 時,±3.5% ±1% ±0.25 µm (10 µin)
  • 0° C 至 40° C 時,±6% ±1% ±0.5 µm (20 µin)
  • 直線度量測解析度
  • Keysight 5519A、Keysight 5519B
  • 短程:0.01 µm(0.4 µin),0.04 µm(1.4 µin)
  • 直線度量測範圍(與軸向移動正交 )
  • ±1.5 mm
  • 軸向分離(移動)
  • (正確對準後,15° C 至 25° C 時,干涉儀和反射器之間的典型距離):
  • 短程光學元件:0.1 至 3 公尺
  • 高解析度平面鏡
  • 對空氣擾動的靈敏度較低,可提供比校驗雷射更高的準確度
  • 可單獨購買,也可當作 55283A 平坦度套件的組件

主要技術規格

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 10774A Short Range Straightness Optics

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