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產品特性
Keysight 10774A 短程直線度光學元件結合直線度干涉儀和反射鏡，讓您能在 3 公尺的範圍內進行量測。 此光學儀器構成一個高準確度的光學尺規，可量測機床行程和量測機坐標運動的直線度，解析度達 0.04 µm（1 吋）。
藉由將 Keysight 10774A 短程直線度解決方案與 Keysight 5530 雷射校驗系統搭配使用，您可客製干涉儀系統，以便滿足各種應用的實體布局和量測需求。
- 直線度量測準確度
- 整體準確度 = 光學參考準確度 + 量測準確度。
- 類似於使用傳統直尺與指示器量測直線度的方法，光學參考準確度相當於直尺準確度，而量測準確度則相當於指示器準確度。
- 光學參考準確度
- 利用直尺（反射鏡）反轉技術，可消除光學參考不準確度。
- 公制單位模式：0.15 M2 µm
- 英制單位模式：0.5 F2 µin
- 量測準確度
- 溫度範圍顯示值：0 µm 至 10 µm，10 至 1,500 µm
- 0 µm 至 400 µm，400 至 60,000 µm
- 15° C 至 25 °C 時，±3.5% ±1% ±0.25 µm （10 µin）
- 0° C 至 40° C 時，±6% ±1% ±0.5 µm （20 µin）
- 直線度量測解析度
- Keysight 5519A、Keysight 5519B
- 短程：0.01 µm（0.4 µin），0.04 µm（1.4 µin）
- 直線度量測範圍（與軸向移動正交 ）
- ±1.5 mm
- 軸向分離（移動）
- （正確對準後，15° C 至 25° C 時，干涉儀和反射器之間的典型距離）：
- 短程光學元件：0.1 至 3 公尺
- 高解析度平面鏡
- 對空氣擾動的靈敏度較低，可提供比校驗雷射更高的準確度
- 可單獨購買，也可當作 55283A 平坦度套件的組件
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