パラメータアナライザ
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IVおよびCV統合テストを実行

電流-電圧 (IV) および容量-電圧 (CV) 測定の組み合わせには、統合されたテストセットアップ内でソースメジャーユニットと容量測定ハードウェアの協調制御が必要です。測定システムは、異なる測定モード間で精度を確保するために、信号品質、ガード、および適切なリターンパスを維持しながら、トライアキシャルベースのIV測定とコアキシャルベースのCV測定の両方をサポートする必要があります。

測定セットアップには、物理的な接続を再構成することなく、IVおよびCV測定間のシームレスな移行を可能にするために、共有ケーブルとスイッチングメカニズムの構成が含まれます。正確な結果は、寄生効果の最小化、測定パスの安定化、および補償技術の適用に依存し、被試験デバイス上での一貫したプロービング条件を維持しながら行われます。

統合型静脈・中心静脈測定ソリューション

IVおよびCV測定の組み合わせを実行するには、物理的な接続を変更することなく、電流-電圧モードと容量-電圧モードを切り替えることができる統合された測定アーキテクチャが必要です。このソリューションは、半導体デバイスアナライザとソースメジャーユニット、多周波容量測定ユニット、およびIVとCVのパスを統合するスイッチングユニットを統合しています。このシステムは、測定モード間の自動切り替えを可能にし、適切なガードとリターンパスを維持し、ソフトウェア制御によるエラー補償をサポートします。追加機能には、CV測定用の拡張バイアス電圧、自動テスト実行、および事前定義された測定アルゴリズムを使用したセットアップの簡素化が含まれ、効率的で再現性のあるデバイス特性評価を可能にします。

統合IV/CV測定ソリューションのブロック図を参照

IV-CV同時測定の実施方法

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